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VeTek Semiconductor se concentre sur la fabrication de nitrure de silicium et dispose d'une équipe de recherche et développement composée d'experts chevronnés et de talents techniques de haut niveau. Les céramiques de nitrure de silicium présentent les avantages de dureté, de résistance à la chaleur, de résistance à l'usure et de résistance à la corrosion des matériaux céramiques généraux, et présentent les avantages d'une bonne résistance aux chocs thermiques, d'une résistance au fluage à haute température, d'une bonne autolubrification et d'une bonne stabilité chimique, et sont largement utilisé dans les domaines des énergies nouvelles, de l'industrie chimique, de l'aérospatiale et des semi-conducteurs.

Les matériaux en nitrure de silicium de VeTek Semiconductor présentent les avantages importants suivants :

1. Excellente stabilité chimique

Les céramiques de nitrure de silicium ont une excellente stabilité chimique et peuvent résister à une variété d'acides forts, d'alcalis et de gaz corrosifs. Dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, il faut souvent faire face à des produits chimiques corrosifs, la céramique de nitrure de silicium peut fournir une garantie de performances stables à long terme.

2. Excellentes propriétés mécaniques

Les céramiques de nitrure de silicium ont une dureté élevée, une excellente résistance à la compression et à l'usure, capables de résister aux contraintes mécaniques et à l'usure de la surface, pas faciles à déformer ou à rompre. Cette propriété mécanique le rend très approprié comme matériau pour les pièces structurelles et de traitement des équipements semi-conducteurs.

3. Stabilité à haute température

Les céramiques de nitrure de silicium peuvent maintenir leur stabilité dans des environnements à haute température, ne sont pas faciles à ramollir ou à fondre, et peuvent résister au traitement et à la manipulation à haute température dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Cela lui permet d'être utilisé dans la fabrication de composants clés d'équipements de traitement à haute température, tels que des pinces, des composants de chambre de réaction, etc.

4. Excellentes propriétés isolantes

Les propriétés isolantes sont essentielles dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Les céramiques de nitrure de silicium ont de bonnes propriétés isolantes, qui peuvent isoler et protéger efficacement les composants du circuit contre les fuites de courant ou les interférences électromagnétiques, contribuant ainsi à améliorer la stabilité et la fiabilité de l'appareil.

5. Conductivité thermique et conductivité thermique

Les céramiques de nitrure de silicium ont une conductivité thermique élevée, peuvent conduire et dissiper efficacement la chaleur générée par l'appareil, aidant ainsi à maintenir la stabilité de la température de l'appareil pendant le processus de fonctionnement. Ceci est essentiel au fonctionnement haute performance des dispositifs à semi-conducteurs.

Les applications des matériaux en nitrure de silicium de VeTek Semiconductor dans les secteurs de l'énergie solaire et des semi-conducteurs comprennent principalement :

1. Mandrins électrostatiques et composants de la chambre de gravure

Les céramiques de nitrure de silicium sont souvent utilisées comme matériaux pour les mandrins électrostatiques et les composants des chambres de gravure dans la fabrication de semi-conducteurs en raison de leur excellente stabilité chimique et de leur résistance aux températures élevées. Les mandrins électrostatiques sont utilisés pour fixer et stabiliser les plaquettes ou les substrats, tandis que les composants de la chambre de gravure sont utilisés pour résister aux gaz corrosifs et aux environnements à haute température.

2. plaques de distribution de gaz et réflecteurs

Les céramiques de nitrure de silicium sont également utilisées dans la fabrication d'équipements semi-conducteurs dans les plaques de distribution de gaz et les réflecteurs. Des plaques de distribution de gaz sont utilisées pour distribuer uniformément les gaz réactifs ou protecteurs dans la chambre de réaction, tandis que des réflecteurs sont utilisés pour optimiser la distribution et la réflexion de la lumière dans la chambre de réaction afin d'améliorer l'efficacité et l'uniformité de la réaction.

3. Supports et composants thermiques

Les céramiques de nitrure de silicium sont souvent utilisées comme supports et composants de gestion thermique dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs. Ces composants doivent avoir une bonne résistance mécanique, une bonne résistance à l'usure et une bonne conductivité thermique pour garantir un fonctionnement stable de l'équipement et la précision du traitement des appareils.

4. Tampons de polissage mécano-chimique (CMP)

La céramique de nitrure de silicium est largement utilisée comme matériau de tampon dans le processus de polissage chimico-mécanique (CMP). Il présente une excellente planéité et une excellente résistance à l'usure, et peut fournir un support stable pendant le processus de polissage pour garantir la planéité et la précision de la surface de la plaquette semi-conductrice.