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Chine Revêtement en carbure de tantale Fabricant, fournisseur, usine
VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.
Les principaux produits sontAnneau transfuge avec revêtement en carbure de tantale, anneau de dérivation recouvert de TaC, pièces en demi-lune revêtues de TaC, disque de rotation planétaire revêtu de carbure de tantale (Aixtron G10), creuset revêtu de TaC ; Anneaux revêtus de TaC ; graphite poreux enduit de TaC ; Suscepteur de graphite à revêtement en carbure de tantale ; Anneau de guidage revêtu de TaC ; Plaque revêtue de carbure de tantale TaC ; Suscepteur de plaquette à revêtement TaC ; Anneau de revêtement TaC ; Couverture en graphite à revêtement TaC ; Morceau enduit de TaCetc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.
Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :
Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.
Principales fonctionnalités:
Stabilité de la température
Ultra haute pureté
Résistance à H2, NH3, SiH4,Si
Résistance au stock thermique
Forte adhérence au graphite
Couverture du revêtement conforme
Taille jusqu'à 750 mm de diamètre (le seul fabricant en Chine atteint cette taille)
Applications:
Support de plaquette
Suscepteur de chauffage inductif
Élément chauffant résistif
Disque satellite
Pomme de douche
Bague de guidage
Récepteur LED Epi
Buse d'injection
Anneau de masquage
Bouclier thermique
Revêtement en carbure de tantale (TaC) sur une section microscopique:
Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor:
| Propriétés physiques du revêtement TaC | |
| Densité | 14,3 (g/cm³) |
| Émissivité spécifique | 0.3 |
| Coefficient de dilatation thermique | 6.3 10-6/K |
| Dureté (HK) | 2000 Hong Kong |
| Résistance | 1×10-5Ohm*cm |
| Stabilité thermique | <2500℃ |
| Modifications de la taille du graphite | -10 ~ -20 um |
| Épaisseur du revêtement | Valeur typique ≥20um (35um±10um) |
Données EDX du revêtement TaC：
Données sur la structure cristalline du revêtement TaC
| Élément | Pourcentage atomique | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Moyenne | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Anneaux de guidage de revêtement TaC
En tant que fabricant leader de produits d'anneaux de guidage à revêtement TaC en Chine, les anneaux de guidage à revêtement TaC VeTek Semiconductor sont des composants importants de l'équipement MOCVD, garantissant une distribution de gaz précise et stable pendant la croissance épitaxiale, et constituent un matériau indispensable dans la croissance épitaxiale des semi-conducteurs. Bienvenue à nous consulter.
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Anneau recouvert de carbure de tantale
En tant qu'innovateur professionnel et leader des produits d'anneaux revêtus de carbure de tantale en Chine, l'anneau revêtu de carbure de tantale semi-conducteur VeTek joue un rôle irremplaçable dans la croissance des cristaux SiC avec son excellente résistance aux températures élevées, sa résistance à l'usure et son excellente conductivité thermique. Bienvenue à votre consultation ultérieure.
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Carbure de tantale poreux
VeTek Semiconductor est un fabricant professionnel et leader de produits en carbure de tantale poreux en Chine. Le carbure de tantale poreux est généralement fabriqué par la méthode de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), garantissant un contrôle précis de la taille et de la distribution de ses pores, et constitue un outil matériel dédié aux environnements extrêmes à haute température. Bienvenue à votre consultation ultérieure.
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Anneau en carbure de tantale
En tant que fabricant et producteur avancé de produits d'anneaux en carbure de tantale en Chine, l'anneau en carbure de tantale VeTek Semiconductor présente une dureté, une résistance à l'usure, une résistance aux températures élevées et une stabilité chimique extrêmement élevées et est largement utilisé dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs. En particulier dans les processus CVD, PVD, d'implantation ionique, de gravure et de traitement et de transport de plaquettes, c'est un produit indispensable pour le traitement et la fabrication de semi-conducteurs. Dans l’attente de votre prochaine consultation.
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Support de revêtement en carbure de tantale
En tant que fabricant professionnel de produits de support de revêtement en carbure de tantale et usine en Chine, le support de revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor est généralement utilisé pour le revêtement de surface de composants structurels ou de composants de support dans des équipements semi-conducteurs, en particulier pour la protection de surface des composants clés de l'équipement dans les processus de fabrication de semi-conducteurs tels que CVD et PVD. Bienvenue à votre consultation ultérieure.
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Anneau de guidage en carbure de tantale
VeTek Semiconductor est un fabricant professionnel et leader de produits d'anneaux de guidage en carbure de tantale en Chine. Notre anneau de guidage en carbure de tantale (TaC) est un composant annulaire haute performance en carbure de tantale, couramment utilisé dans les équipements de traitement des semi-conducteurs, en particulier dans les environnements à haute température et hautement corrosifs tels que CVD, PVD, gravure et diffusion. VeTek Semiconductor s'engage à fournir des technologies et des solutions de produits avancées pour l'industrie des semi-conducteurs et accueille favorablement vos demandes complémentaires.
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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de tantale en Chine, nous disposons de notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter du Revêtement en carbure de tantale avancé et durable fabriqué en Chine, vous pouvez nous laisser un message.
