Qu'est-ce que le revêtement en carbure de tantale ?

Le matériau céramique en carbure de tantale (TaC) a un point de fusion allant jusqu'à 3880 ℃ et est un composé avec un point de fusion élevé et une bonne stabilité chimique. Il peut maintenir des performances stables dans des environnements à haute température. En outre, il présente également une résistance aux températures élevées, une résistance à la corrosion chimique et une bonne compatibilité chimique et mécanique avec les matériaux carbonés, ce qui en fait un matériau de revêtement protecteur de substrat en graphite idéal. 

Le revêtement en carbure de tantale peut protéger efficacement les composants en graphite contre les effets de l'ammoniac chaud, de l'hydrogène, de la vapeur de silicium et du métal fondu dans des environnements d'utilisation difficiles, prolongeant considérablement la durée de vie des composants en graphite et supprimant la migration des impuretés dans le graphite, garantissant ainsi la qualité deépitaxialeetcroissance cristalline.

Figure 1. Composants courants revêtus de carbure de tantale

Le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) est la méthode la plus aboutie et la plus optimale pour produire des revêtements TaC sur des surfaces en graphite.

En utilisant respectivement le TaCl5 et le propylène comme sources de carbone et de tantale, et l'argon comme gaz porteur, la vapeur de TaCl5 vaporisée à haute température est introduite dans la chambre de réaction. À la température et à la pression cibles, la vapeur du matériau précurseur s'adsorbe à la surface du graphite, subissant une série de réactions chimiques complexes telles que la décomposition et la combinaison de sources de carbone et de tantale, ainsi qu'une série de réactions de surface telles que la diffusion et la désorption de sous-produits du précurseur. Enfin, une couche protectrice dense est formée à la surface du graphite, qui protège le graphite d'une existence stable dans des conditions environnementales extrêmes et élargit considérablement les scénarios d'application des matériaux en graphite.

Graphique 2.Principe du procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)

Semi-conducteur VeTekfournit principalement des produits en carbure de tantale : anneau de guidage TaC, anneau à trois pétales recouvert de TaC, creuset à revêtement TaC, le graphite poreux à revêtement TaC est largement utilisé dans le processus de croissance des cristaux SiC ; graphite poreux avec revêtement TaC, anneau de guidage enduit TaC, support de plaquette en graphite enduit TaC, Suscepteurs de revêtement TaC, suscepteur planétaire, suscepteur satellite revêtu de TaC, et ces produits de revêtement en carbure de tantale sont largement utilisés dansProcédé d'épitaxie SiCetProcessus de croissance monocristallin SiC.

Graphique 3.VétérinaireProduits de revêtement en carbure de tantale les plus populaires d'ek Semiconductor