Pièce demi-lune de 8 pouces pour usine de réacteur LPE

Fabricant de disques de rotation planétaires recouverts de carbure de tantale

Bague de mise au point de gravure en SiC solide de Chine

Suscepteur de baril enduit de SiC pour le fournisseur LPE PE2061S

Revêtement en carbure de tantale

VeTek semiconductor est l'un des principaux fabricants de matériaux de revêtement en carbure de tantale pour l'industrie des semi-conducteurs. Nos principales offres de produits comprennent des pièces de revêtement en carbure de tantale CVD, des pièces de revêtement TaC frittées pour la croissance cristalline de SiC ou le processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Ayant passé la norme ISO9001, VeTek Semiconductor a un bon contrôle de la qualité. VeTek Semiconductor s'engage à devenir un innovateur dans l'industrie des revêtements en carbure de tantale grâce à la recherche et au développement continus de technologies itératives.

Les principaux produits sont l'anneau transfuge à revêtement en carbure de tantale, l'anneau de dérivation à revêtement TaC, les pièces en demi-lune à revêtement TaC, le disque de rotation planétaire revêtu de carbure de tantale (Aixtron G10), le creuset à revêtement TaC ; Anneaux revêtus de TaC ; graphite poreux enduit de TaC ; Suscepteur de graphite à revêtement en carbure de tantale ; Anneau de guidage revêtu de TaC ; Plaque revêtue de carbure de tantale TaC ; Suscepteur de plaquette à revêtement TaC ; Anneau de revêtement TaC ; Couverture en graphite à revêtement TaC ; Les morceaux enduits de TaC, etc., dont la pureté est inférieure à 5 ppm, peuvent répondre aux exigences des clients.

Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). L'avantage est illustré dans l'image ci-dessous :

Le revêtement en carbure de tantale (TaC) a attiré l'attention en raison de son point de fusion élevé allant jusqu'à 3 880 °C, de son excellente résistance mécanique, de sa dureté et de sa résistance aux chocs thermiques, ce qui en fait une alternative intéressante aux processus d'épitaxie de semi-conducteurs composés avec des exigences de température plus élevées. tels que le système Aixtron MOCVD et le processus d'épitaxie LPE SiC. Il a également une large application dans le processus de croissance cristalline SiC de la méthode PVT.

Paramètre du revêtement en carbure de tantale VeTek Semiconductor :

Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité	14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique	0.3
Coefficient de dilatation thermique	6.3 10-6/K
Dureté (HK)	2000 Hong Kong
Résistance	1×10-5 Ohms*cm
Stabilité thermique	<2500℃
Modifications de la taille du graphite	-10~-20um
Épaisseur du revêtement	Valeur typique ≥20um (35um±10um)

Données EDX du revêtement TaC

Données sur la structure cristalline du revêtement TaC

Élément	Pourcentage atomique
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Moyenne
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrin de revêtement TaC Disque planétaire à revêtement TaC Plaque enduite de TaC Plaque de rotation de revêtement TaC Suscepteur de revêtement TaC Revêtement CVD TaC Anneau de revêtement CVD TaC Plaque de revêtement TaC

Revêtement en carbure de silicium

VeTek Semiconductor se spécialise dans la production de produits de revêtement en carbure de silicium ultra purs, ces revêtements sont conçus pour être appliqués sur des composants en graphite purifié, en céramique et en métal réfractaire.

Nos revêtements de haute pureté sont principalement destinés à être utilisés dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique. Ils servent de couche protectrice pour les supports de tranches, les suscepteurs et les éléments chauffants, les protégeant des environnements corrosifs et réactifs rencontrés dans des processus tels que MOCVD et EPI. Ces processus font partie intégrante du traitement des plaquettes et de la fabrication des dispositifs. De plus, nos revêtements sont bien adaptés aux applications dans les fours à vide et le chauffage d'échantillons, où l'on rencontre des environnements sous vide poussé, réactifs et oxygénés.

Chez VeTek Semiconductor, nous proposons une solution complète grâce à nos capacités avancées d'atelier d'usinage. Cela nous permet de fabriquer les composants de base en graphite, en céramique ou en métaux réfractaires et d'appliquer les revêtements céramiques SiC ou TaC en interne. Nous fournissons également des services de revêtement pour les pièces fournies par le client, garantissant ainsi la flexibilité nécessaire pour répondre à divers besoins.

Nos produits de revêtement en carbure de silicium sont largement utilisés dans l'épitaxie Si, l'épitaxie SiC, le système MOCVD, le processus RTP/RTA, le processus de gravure, le processus de gravure ICP/PSS, le processus de divers types de LED, y compris les LED bleues et vertes, les LED UV et les UV profonds. LED etc., adaptée aux équipements de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Pièces de réacteur que nous pouvons réaliser :

Revêtement en carbure de silicium plusieurs avantages uniques :

Paramètre de revêtement en carbure de silicium semi-conducteur VeTek :

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC
Propriété	Valeur typique
Structure en cristal	Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Densité	3,21 g/cm³
Dureté	Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille d'un grain	2~10μm
Pureté chimique	99,99995%
Capacité thermique	640 J·kg-1·K-1
Température de sublimation	2700 ℃
Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
Module d'Young	Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique	300W·m-1·K-1
Expansion thermique (CTE)	4,5×10-6K-1

Produits populaires

À propos de nous

VeTek semiconductor Technology Co., LTD, fondée en 2016, est l'un des principaux fournisseurs de matériaux de revêtement avancés pour l'industrie des semi-conducteurs. Notre fondateur, un ancien expert de l'Institut des matériaux de l'Académie chinoise des sciences, a créé l'entreprise en mettant l'accent sur le développement de solutions de pointe pour l'industrie.

Nos principales offres de produits comprennentRevêtements CVD en carbure de silicium (SiC), revêtements en carbure de tantale (TaC), SiC en vrac, poudres de SiC et matériaux SiC de haute pureté. Les principaux produits sont le suscepteur en graphite enduit de SiC, les anneaux de préchauffage, l'anneau de dérivation enduit de TaC, les pièces en demi-lune, etc., la pureté est inférieure à 5 ppm, peut répondre aux exigences des clients.