VeTek Semiconductor est votre partenaire innovant dans le domaine du traitement des semi-conducteurs. Grâce à notre vaste gamme de combinaisons de matériaux céramiques en carbure de silicium de qualité semi-conducteur, nos capacités de fabrication de composants et nos services d'ingénierie d'application, nous pouvons vous aider à surmonter des défis importants. Les céramiques techniques en carbure de silicium sont largement utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs en raison de leurs performances matérielles exceptionnelles. Les céramiques de carbure de silicium ultra-pures de VeTek Semiconductor sont fréquemment utilisées tout au long du cycle de fabrication et de traitement des semi-conducteurs.
VeTek Semiconductor fournit des composants en céramique technique spécialement conçus pour les exigences de diffusion par lots et de LPCVD, notamment :
• Déflecteurs et supports
• Injecteurs
• Revêtements et tubes de traitement
• Palettes en porte-à-faux en carbure de silicium
• Bateaux à plaquettes et socles
Pagaie en porte-à-faux SiC Tubes de traitement SiC Tube de processus en carbure de silicium Bateau à plaquettes vertical SiC Bateau à plaquettes horizontal SiC Bateau à plaquettes carrées horizontales SiC Bateau à plaquettes SiC LPCVD Bateau à plaque horizontale SiC Bateau à plaquettes rondes SiC
Minimisez la contamination et la maintenance imprévue grâce à des composants de haute pureté conçus pour les rigueurs du traitement de gravure au plasma, notamment :
Bagues de mise au point
Buses
Boucliers
Tête de douche
Fenêtres / Couvercles
Autres composants personnalisés
VeTek Semiconductor fournit des composants matériels avancés adaptés aux applications de traitement thermique à haute température dans l'industrie des semi-conducteurs. Ces applications englobent les processus RTP, Epi, la diffusion, l'oxydation et le recuit. Nos céramiques techniques sont conçues pour résister aux chocs thermiques, offrant des performances fiables et constantes. Grâce aux composants de VeTek Semiconductor, les fabricants de semi-conducteurs peuvent réaliser un traitement thermique efficace et de haute qualité, contribuant ainsi au succès global de la production de semi-conducteurs.
• Diffuseurs
• Isolateurs
• Suscepteurs
• Autres composants thermiques personnalisés
Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé | |
Propriété | Valeur typique |
Température de travail (°C) | 1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur) |
Contenu SiC / SiC | > 99,96% |
Si / Contenu Si gratuit | < 0,1% |
Densité apparente | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porosité apparente | < 16% |
Force de compression | > 600 MPa |
Résistance à la flexion à froid | 80-90 MPa (20°C) |
Résistance à la flexion à chaud | 90-100 MPa (1 400 °C) |
Dilatation thermique à 1 500 °C | 4,70 10-6/°C |
Conductivité thermique à 1200°C | 23 W/m•K |
Module d'élasticité | 240 GPa |
Résistance aux chocs thermiques | Extrêmement bon |
VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de palettes cantilever en SiC de haute pureté en Chine. Les palettes en porte-à-faux SiC de haute pureté sont couramment utilisées dans les fours à diffusion de semi-conducteurs comme plates-formes de transfert ou de chargement de plaquettes. VeTek Semiconductor s'engage à fournir des technologies et des solutions de produits avancées pour l'industrie des semi-conducteurs. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeEn tant que fabricant et fournisseur professionnel de bateaux et de socles à colonnes verticales en Chine, les bateaux et socles à colonnes verticales de Vetek Semiconductor sont fabriqués à partir de matériaux de quartz ou de céramique de carbone-silicone (SiC) de haute pureté, avec une excellente résistance aux températures élevées, une stabilité chimique et une résistance mécanique. , et constitue un composant essentiel indispensable dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Bienvenue à votre consultation ultérieure.
En savoir plusenvoyer une demandeVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat est un équipement avancé pour le traitement des semi-conducteurs. La structure du produit de Contiguous Wafer Boat est soigneusement conçue pour garantir un traitement et une production efficaces de plaquettes de précision. Vetek Semiconductor s'engage à fournir d'excellentes solutions technologiques et produits pour l'industrie des semi-conducteurs. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeVeTek Semiconductor est un fabricant chinois professionnel de plaquettes de silicium sur isolant, de bases planétaires ALD et de bases en graphite revêtues de TaC. La plaquette de silicium sur isolant de VeTek Semiconductor est un matériau de substrat semi-conducteur important, et ses excellentes caractéristiques de produit lui permettent de jouer un rôle clé dans les applications hautes performances, faible consommation, haute intégration et RF. Nous sommes impatients de poursuivre notre coopération avec vous.
En savoir plusenvoyer une demandeVeTek Semiconductor est un fabricant et fournisseur professionnel d'anneaux de guidage à revêtement TaC, de supports de tranches SiC horizontaux et de suscepteurs à revêtement SiC en Chine. Nous nous engageons à fournir un support technique parfait et des solutions produits ultimes pour l'industrie des semi-conducteurs. Bienvenue à nous contacter.
En savoir plusenvoyer une demandeLe SiC Wafer Boat de VeTek Semiconductor est un produit de très hautes performances. Notre SiC Wafer Boat est généralement utilisé dans les fours à diffusion d'oxydation de semi-conducteurs pour garantir que la température est uniformément répartie sur la plaquette et améliorer la qualité de traitement de la plaquette de silicium. La stabilité à haute température et la conductivité thermique élevée des matériaux SiC garantissent un traitement efficace et fiable des semi-conducteurs. Nous nous engageons à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs et sommes impatients d'être votre partenaire à long terme en Chine.
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