Le SiC et le GaN sont des semi-conducteurs à large bande interdite présentant des avantages par rapport au silicium, tels que des tensions de claquage plus élevées, des vitesses de commutation plus rapides et une efficacité supérieure. Le SiC est meilleur pour les applications haute tension et haute......
En savoir plusL'évaporation par faisceau d'électrons est une méthode de revêtement très efficace et largement utilisée par rapport au chauffage par résistance, qui chauffe le matériau d'évaporation avec un faisceau d'électrons, le faisant se vaporiser et se condenser en un film mince.
En savoir plusLe revêtement sous vide comprend la vaporisation du matériau du film, le transport sous vide et la croissance de couches minces. Selon les différentes méthodes de vaporisation du matériau du film et les processus de transport, le revêtement sous vide peut être divisé en deux catégories : PVD et CVD.
En savoir plusLe dépôt de couches minces est vital dans la fabrication de puces, car il permet de créer des microdispositifs en déposant des films d'une épaisseur inférieure à 1 micron via CVD, ALD ou PVD. Ces processus construisent des composants semi-conducteurs en alternant des films conducteurs et isolants.
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