Suscepteur MOCVD avec revêtement TaC

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants, fournisseurs et exportateurs chinois spécialisés dans les suscepteurs MOCVD avec revêtement TaC. Vous êtes invités à venir dans notre usine pour acheter les dernières ventes, à bas prix et de haute qualité des suscepteurs MOCVD avec revêtement TaC. Nous sommes impatients de coopérer avec vous.

L'épitaxie LED est confrontée à des défis tels que le contrôle de la qualité des cristaux, la sélection et l'adaptation des matériaux, la conception et l'optimisation structurelles, le contrôle et la cohérence des processus, ainsi que l'efficacité de l'extraction de la lumière. Le choix du bon matériau de support de plaquette d'épitaxie est crucial, et le revêtement avec un film mince de carbure de tantale (TaC) (revêtement TaC) offre des avantages supplémentaires.

Lors de la sélection d'un matériau de support de plaquette d'épitaxie, plusieurs facteurs clés doivent être pris en compte :

Tolérance de température et stabilité chimique : les procédés d'épitaxie LED impliquent des températures élevées et peuvent impliquer l'utilisation de produits chimiques. Par conséquent, il est nécessaire de choisir des matériaux ayant une bonne tolérance à la température et une bonne stabilité chimique pour garantir la stabilité du support dans des environnements chimiques et à haute température.

Planéité de la surface et résistance à l'usure : La surface du support de plaquette d'épitaxie doit avoir une bonne planéité pour assurer un contact uniforme et une croissance stable de la plaquette d'épitaxie. De plus, la résistance à l’usure est importante pour éviter les dommages de surface et l’abrasion.

Conductivité thermique : le choix d'un matériau ayant une bonne conductivité thermique permet de dissiper efficacement la chaleur, de maintenir une température de croissance stable pour la couche d'épitaxie et d'améliorer la stabilité et la cohérence du processus.

À cet égard, le revêtement du support de plaquette d'épitaxie avec du TaC offre les avantages suivants :

Stabilité à haute température : le revêtement TaC présente une excellente stabilité à haute température, lui permettant de conserver sa structure et ses performances pendant les processus d'épitaxie à haute température et offrant une tolérance de température supérieure.

Stabilité chimique : le revêtement TaC résiste à la corrosion causée par les produits chimiques et les atmosphères courants, protégeant le support de la dégradation chimique et améliorant sa durabilité.

Dureté et résistance à l'usure : le revêtement TaC possède une dureté et une résistance à l'usure élevées, renforçant la surface du support de plaquette d'épitaxie, réduisant les dommages et l'usure et prolongeant sa durée de vie.

Conductivité thermique : le revêtement TaC démontre une bonne conductivité thermique, facilitant la dissipation de la chaleur, maintenant une température de croissance stable pour la couche d'épitaxie et améliorant la stabilité et la cohérence du processus.

Par conséquent, le choix d’un support de plaquette d’épitaxie avec un revêtement TaC permet de relever les défis de l’épitaxie LED, en répondant aux exigences des environnements chimiques et à haute température. Ce revêtement offre des avantages tels que la stabilité à haute température, la stabilité chimique, la dureté et la résistance à l'usure, ainsi que la conductivité thermique, contribuant à améliorer les performances, la durée de vie et l'efficacité de production du support de tranche d'épitaxie.

Propriétés physiques de base du revêtement TaC :

Atelier de production de semi-conducteurs VeTek

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :