Fabrication de puces : un flux de processus de MOSFET

Le processus de fabrication des puces comprend la photolithographie,gravure, la la diffusion, couche mince, implantation ionique, polissage chimico-mécanique, nettoyage, etc. Cet article explique grossièrement comment ces processus sont intégrés en séquence pour fabriquer un MOSFET.

1.Nous avons d'abord unsubstratavec une pureté de silicium allant jusqu'à 99,9999999 %.

2. Développez une couche de film d'oxyde sur le substrat en cristal de silicium.

3. Spin-coat photoresist uniformément.

4.La photolithographie est réalisée à travers un photomasque pour transférer le motif du photomasque sur la résine photosensible.

5. La résine photosensible dans la zone photosensible est emportée après le développement.

6. Gravez le film d'oxyde qui n'est pas recouvert par la résine photosensible par gravure, de sorte que le motif de photolithographie soit transféré sur letranche.

7. Nettoyez et retirez l'excès de résine photosensible.

8. Appliquez un autre diluantfilm d'oxyde. Après cela, grâce à la photolithographie et à la gravure ci-dessus, seul le film d'oxyde dans la zone de grille est conservé.

9. Développez une couche de polysilicium dessus

10. Comme à l'étape 7, utilisez la photolithographie et la gravure pour conserver uniquement le polysilicium sur la couche d'oxyde de grille.

11. Couvrez la couche d'oxyde et la porte par un nettoyage photolithographique, de sorte que la tranche entière soitimplanté ionique, et il y aura une source et un drain.

12. Développez une couche de film isolant sur la plaquette.

13. Graver les trous de contact de la source, de la grille et du drain par photolithographie et gravure.

14. Déposez ensuite du métal dans la zone gravée, de manière à ce qu'il y ait des fils métalliques conducteurs pour la source, la grille et le drain.

Enfin, un MOSFET complet est fabriqué grâce à une combinaison de divers processus.

En fait, la couche inférieure de la puce est composée d’un grand nombre de transistors.

Schéma de fabrication MOSFET, source, grille, drain

Divers transistors forment des portes logiques

Les portes logiques forment des unités arithmétiques

Finalement, c'est un éclat de la taille d'un ongle