Bateau de plaquettes en carbure de silicium pour four horizontal

Un bateau à plaquettes en carbure de silicium de haute qualité pour four horizontal est proposé par le fabricant chinois VeTek Semiconductor. Achetez un bateau à plaquettes en carbure de silicium pour four horizontal de haute qualité directement de l'usine à bas prix. Le bateau à plaquettes en carbure de silicium pour four horizontal est utilisé dans les tubes de four pour le chargement et le transfert de plaquettes pendant les traitements à haute température. En raison des excellentes propriétés des matériaux en carbure de silicium telles que la résistance aux températures élevées, la résistance à la corrosion chimique et la stabilité thermique, ils sont largement utilisés dans divers processus de traitement thermique tels que la diffusion, l'oxydation, la CVD et le recuit.

Le bateau à plaquettes en carbure de silicium pour four horizontal est fabriqué en carbure de silicium et présente les caractéristiques suivantes :

1. Dureté et résistance à l'usure élevées : le carbure de silicium a une dureté juste derrière le diamant, ce qui le rend très résistant à l'usure. Cela permet aux bateaux en carbure de silicium de résister aux impacts mécaniques et aux frottements répétés, prolongeant ainsi leur durée de vie.

2. Résistance à haute température : le carbure de silicium a un point de fusion de 2730 °C, ce qui rend les bateaux en carbure de silicium adaptés aux environnements à haute température et à divers processus de fabrication de semi-conducteurs, tels que l'oxydation et la diffusion à haute température.

3. Faible coefficient de dilatation thermique : le carbure de silicium a un faible coefficient de dilatation thermique, ce qui aide à maintenir la stabilité dimensionnelle à haute température, empêchant la déformation du bateau et affectant la précision du traitement des plaquettes.

4. Bonne stabilité chimique : le carbure de silicium résiste à la plupart des produits chimiques et ne réagit pas avec les solutions acides et alcalines courantes, garantissant ainsi la sécurité et la propreté des plaquettes.

Nous pouvons fabriquer différents types de bateaux à plaquettes en carbure de silicium tels que des bateaux à plaquettes horizontaux, des bateaux à plaquettes verticaux et tout autre bateau personnalisé.

Nous utilisons du carbure de silicium recristallisé de haute pureté avec les paramètres ci-dessous :

Applications

Les bateaux à plaquettes en carbure de silicium pour fours horizontaux trouvent de nombreuses applications dans les industries des semi-conducteurs et photovoltaïques :

Nettoyage et gravure des plaquettes

Diffusion et oxydation

Galvanoplastie et gravure

Polissage Mécanique Chimique (CMP)

Traitement thermique

Transfert et stockage de plaquettes

Atelier de production de semi-conducteurs VeTek