Pot de cloche à quartz semi-conducteur

GrainesSemi-conducteurPot à cloche en quartzjoue plusieurs rôles clés dans le traitement des semi-conducteurs. le système de vide en clochefournit non seulement un environnement de réaction stable et contrôlé, mais garantit également l'efficacité et la précision de divers processus grâce à son excellente stabilité thermique, son inertie chimique et sa transparence optique. Ces caractéristiques déterminent également quechambre à vide en forme de clocheest un composant indispensable dans le processus de fabrication des semi-conducteurs.

GrainesQuartz semi-conducteur crée un environnement de traitement scellé qui permet aux gaz de traitement d'être répartis uniformément et de réagir avec la surface de la plaquette dans des conditions contrôlées. Donc,Pot de cloche à quartz semi-conducteurest généralement utilisé dans des processus tels que le CVD, la diffusion et l'oxydation pour contrôler avec précision la composition et la pression de l'atmosphère, garantissant ainsi l'uniformité du film et la pureté du matériau.

Dans le même temps, les matériaux à base de quartz ont une excellente stabilité thermique, une résistance aux températures élevées (l'environnement à haute température dans le traitement des semi-conducteurs atteint généralement 1 000 °C ou plus) et des caractéristiques de produit permettant de maintenir une forme et une taille stables pendant le chauffage et le refroidissement. Ceci détermine que lePot à cloche en quartzpeut pleinement assurer l'uniformité de la température de surface de la tranche dans l'environnement à haute température de diffusion et d'oxydation, améliorant ainsi la qualité et l'uniformité de la couche déposée ou diffusée.

Plus important encore,Quartz de haute pureté Vetek Semiconductor ne réagit pas facilement avec les gaz de traitement dans des environnements à haute température et présente une forte résistance à la corrosion. Cette caractéristique du produit détermine que dans les procédés utilisant des gaz corrosifs (comme certains procédés CVD),Pot de cloche à quartz semi-conducteurpeut maintenir pleinement la stabilité chimique, évitant ainsi la contamination des dispositifs semi-conducteurs.

Semi-conducteur VeTekPot à cloche en quartz:

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices: