Mandrin électrostatique en céramique

Les processus de production de semi-conducteurs, en particulier le traitement des tranches, sont réalisés dans un environnement sous vide, et le serrage mécanique des tranches permet 

certains risques. Lorsque la force est concentrée sur le point de serrage, les plaquettes de silicium fragiles peuvent perdre de minuscules fragments, causant de graves dommages à la production des plaquettes.

Dans ce cas, le mandrin électrostatique en céramique devient un meilleur choix, car il fixe la plaquette par force électrostatique. La force électrostatique agit uniformément sur la plaquette, de sorte que celle-ci peut être fixée à plat, améliorant ainsi la précision du processus.

Selon des documents de recherche pertinents, les mandrins électrostatiques en céramique ont une aspiration plus forte que les autres mandrins électrostatiques. Par exemple, le mandrin électrostatique en céramique a une aspiration beaucoup plus forte que le mandrin électrostatique à film PET.

Le mandrin en céramique est généralement fabriqué à partir de matériaux céramiques hautes performances tels que Al2O3, AlN ou SiC, qui présentent une résistance élevée à la chaleur, à l'isolation et à la corrosion. Le mandrin en céramique SiC poreux est non seulement stable à des températures extrêmes, mais empêche également efficacement la dégradation du mandrin électronique en céramique due aux réactifs chimiques et à la gravure au plasma pendant le processus de fabrication.

Contrôle de la température: La conductivité thermique élevée et les propriétés thermiques stables des matériaux céramiques permettent au mandrin à vide en céramique d'alumine de contrôler efficacement la température, optimisant ainsi la répartition de la température pendant le processus.

Adaptabilité au vide: Le mandrin électrostatique en céramique convient aux environnements sous vide, en particulier dans les processus de gravure à basse pression et de haute précision.

Faible génération de particules : Le mandrin électronique en céramique SiC poreuse a une surface lisse, ce qui peut réduire la contamination par les particules lors de la fixation de la plaquette et contribuer à améliorer le rendement du produit.

Application : principalement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, mandrin électrostatique en céramique amovible offrant un positionnement et une stabilité précis, ce qui est très utile pour la lithographie, la gravure et d'autres processus de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs. Assurez-vous que la plaquette est intacte pendant le traitement et améliorez la qualité de la production de puces.

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