Pommeau de douche en forme de disque en SiC massif

Le rôle de la pomme de douche en forme de disque en SiC solide dans le processus CVD est de répartir uniformément le gaz de réaction au-dessus de la zone de dépôt afin que le gaz puisse être diffusé uniformément dans tout le réacteur pour obtenir un film plat et uniforme.

La pomme de douche Solid SiC est placée en haut du four CVD ou près de l'entrée de gaz. Le gaz de réaction pénètre dans la structure en forme de disque par les trous répartis sur la pomme de douche et se diffuse le long de la surface de la pomme de douche. Grâce à la conception à canaux multiples et aux sorties uniformément réparties, le gaz de réaction peut s'écouler uniformément dans toute la zone du réacteur, évitant ainsi la concentration ou les turbulences et garantissant la cohérence de l'épaisseur de la couche déposée sur le substrat.

Dans le même temps, la structure de la pomme de douche en forme de disque semi-conducteur a également un effet de diffusion, ce qui peut réduire efficacement le débit du gaz, de sorte qu'il puisse être diffusé uniformément à la sortie de la buse et réduire l'impact du gaz local. le débit change sur l'effet de dépôt. Cela permet d'éviter l'impact direct du gaz sur le substrat et d'éviter le problème de dépôt irrégulier.

Du point de vue des matériaux, la pomme de douche à gaz Solid SiC est fabriquée en matériau SiC solide résistant aux hautes températures, à la corrosion et à haute résistance avec une très grande stabilité. Il peut fonctionner de manière stable pendant longtemps dans le four CVD et a une longue durée de vie.

Semi-conducteur VeTekfournit des services personnalisés de haute qualité. La forme et la disposition des trous de la pomme de douche en forme de disque en SiC solide peuvent être ajustées de manière flexible en fonction des exigences de processus du client pour s'adapter aux différents types de gaz, débits et matériaux de dépôt. Pour différentes tailles de réacteurs ou tailles de substrat, des pommes de douche en forme de disque avec différents diamètres et répartitions de trous peuvent être personnalisées pour optimiser l'effet de distribution de gaz.

Semi-conducteur VeTekdispose de processus matures et de technologies avancées pour les produits de pomme de douche à semi-conducteurs en SiC solide, aidant ainsi un grand nombre de clients à réaliser des progrès continus dans les processus CVD. VeTek Semiconductor a hâte de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Propriétés physiques du SiC solide

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