Effecteur final de manipulation de plaquettes

L'effecteur final de manipulation de plaquettes est un type de main robot conçue spécifiquement pour l'industrie des semi-conducteurs, généralement utilisée pour manipuler et transférerplaquettes. L'environnement de production des plaquettes nécessite une propreté extrêmement élevée, car de minuscules particules ou contaminants peuvent provoquer la défaillance des puces pendant le traitement. Les matériaux céramiques sont largement utilisés dans la fabrication de ces mains en raison de leurs excellentes propriétés physiques et chimiques.

Par rapport aux matériaux métalliques traditionnels, les avantages decéramiquedans les matériaux se reflètent principalement dans les aspects suivants :

    •Résistance à la corrosion: Les plaquettes sont exposées à une variété de produits chimiques pendant le processus de fabrication, et les matériaux céramiques peuvent résister efficacement à la corrosion et garantir l'utilisation à long terme de l'équipement.

    •Faible libération de particules: Étant donné que les céramiques libèrent extrêmement peu de particules, elles ne produiront pratiquement pas de particules pendant le processus de manipulation, réduisant ainsi le risque de contamination de la plaquette.

    •Bonne résistance aux hautes températures: Dans certains processus, les plaquettes doivent être manipulées dans un environnement à haute température, et la résistance à haute température du robot de manipulation de plaquettes en matériaux céramiques leur permet de s'adapter à ces environnements difficiles.

    •Isolation électrique: Les céramiques sont des isolants électriques naturels, essentiels aux processus de traitement impliquant du courant et peuvent empêcher l'électricité statique d'affecter les plaquettes.

L'équipement conventionnel de manipulation de plaquettes est en aluminium, le VetekSemi Wafer Handling SiC Boat en SiC présente de nombreux avantages. Le SiC est connu pour son excellente résistance mécanique, sa superbe stabilité thermique et sa résistance à la corrosion. Ces propriétés en font un matériau idéal pour le bras robotique de manipulation de plaquettes où la propreté, la précision et la fiabilité sont essentielles.

Avec le développement continu de la technologie des semi-conducteurs, la taille des tranches a progressivement augmenté, ce qui a imposé des exigences plus élevées pour la conception et la fabrication de l'effecteur final de manipulation des tranches. À l'avenir, avec l'amélioration de la technologie d'automatisation, la précision, la vitesse et la fiabilité de l'effecteur final pour la manipulation des plaquettes continueront de s'améliorer.

En tant qu'équipement de base dans la fabrication de semi-conducteurs, les robots de manipulation de plaquettes occupent une place importante dans les usines de semi-conducteurs en raison de leur propreté élevée, de leur résistance à la corrosion et de leur stabilité à haute température. VeTek Semiconductor peut fournir à ses clients des produits d'effecteur final de manipulation de plaquettes personnalisés ainsi que des services avant-vente et après-vente, et attend avec impatience votre consultation.

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