Plaque support de gravure PSS pour semi-conducteur

En tant que fabricant professionnel, nous souhaitons vous fournir une plaque support de gravure PSS de haute qualité pour semi-conducteurs. La plaque support de gravure PSS pour semi-conducteurs de VeTek Semiconductor est un composant spécialisé utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le processus de gravure par spectroscopie de source de plasma (PSS). Cette plaque joue un rôle crucial dans le support et le transport des plaquettes semi-conductrices pendant le processus de gravure. Bienvenue à nous consulter !

Principales caractéristiques:

Conception de précision : la plaque de support est conçue avec des dimensions précises et une planéité de surface pour garantir une gravure uniforme et cohérente sur les tranches semi-conductrices. Il fournit une plate-forme stable et contrôlée pour les tranches, permettant des résultats de gravure précis et fiables.

Résistance au plasma : La plaque support présente une excellente résistance au plasma utilisé dans le processus de gravure. Il n'est pas affecté par les gaz réactifs et le plasma à haute énergie, garantissant ainsi une durée de vie prolongée et des performances constantes.

Conductivité thermique : la plaque de support présente une conductivité thermique élevée pour dissiper efficacement la chaleur générée pendant le processus de gravure. Cela aide à maintenir un contrôle optimal de la température et empêche la surchauffe des tranches semi-conductrices.

Compatibilité : la plaque support de gravure PSS est conçue pour être compatible avec différentes tailles de plaquettes semi-conductrices couramment utilisées dans l'industrie, garantissant ainsi la polyvalence et la facilité d'utilisation dans différents processus de fabrication.

Paramètre de produit de la plaque support de gravure PSS pour semi-conducteur

Atelier de production de semi-conducteurs VeTek

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :