Support de gravure ICP revêtu de SiC

Avec des années d'expérience dans la production de supports de gravure ICP revêtus de SiC, VeTek Semiconductor peut fournir une large gamme deRevêtement SiCouRevêtement TaCpièces de rechange pour l'industrie des semi-conducteurs. En plus de la liste de produits ci-dessous, vous pouvez également personnaliser vos propres pièces uniques revêtues de SiC ou de TaC en fonction de vos besoins spécifiques. Bienvenue pour nous contacter.

Les supports de gravure ICP à revêtement SiC de VeTek Semiconductor, également connus sous le nom de supports ICP, supports PSS, supports RTP ou supports RTP, sont des composants importants utilisés dans diverses applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Le graphite recouvert de carbure de silicium est le principal matériau utilisé pour fabriquer ces supports de courant. Il a une conductivité thermique élevée, plus de 10 fois supérieure à celle du substrat saphir. Cette propriété, combinée à son intensité de champ électrique élevée et à sa densité de courant maximale, a incité à l'exploration du carbure de silicium comme substitut potentiel du silicium dans diverses applications, en particulier dans les composants semi-conducteurs de haute puissance. Les plaques porteuses de courant SiC ont une conductivité thermique élevée, ce qui les rend idéales pourProcessus de fabrication des LED. 

Ils assurent une dissipation thermique efficace et offrent une excellente conductivité électrique, contribuant à la production de LED de haute puissance. De plus, ces plaques de support ont une excellenterésistance au plasmaet une longue durée de vie, garantissant des performances et une durée de vie fiables dans l'environnement exigeant de fabrication de semi-conducteurs.