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Suscepteur LED UV profond à revêtement SiC
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Suscepteur LED UV profond à revêtement SiC

Le suscepteur de LED UV profond à revêtement SiC est conçu pour le processus MOCVD afin de prendre en charge une croissance efficace et stable de la couche épitaxiale de LED UV profond. VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et fournisseurs de suscepteurs LED UV profonds à revêtement SiC en Chine. Nous avons une riche expérience et avons établi des relations de coopération à long terme avec de nombreux fabricants épitaxiaux de LED. Nous sommes le premier fabricant national de produits suscepteurs pour LED. Après des années de vérification, la durée de vie de nos produits est comparable à celle des plus grands fabricants internationaux. Dans l'attente de votre demande.

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Description du produit

Le suscepteur LED UV profond à revêtement SiC est le composant principal du roulementÉquipement MOCVD (dépôt chimique en phase vapeur de métaux organiques). Le suscepteur affecte directement l'uniformité, le contrôle de l'épaisseur et la qualité des matériaux de la croissance épitaxiale des LED UV profondes, en particulier dans la croissance de la couche épitaxiale de nitrure d'aluminium (AlN) à haute teneur en aluminium, la conception et les performances du suscepteur sont cruciales.


Le suscepteur LED UV profond à revêtement SiC est spécialement optimisé pour l'épitaxie LED UV profond et est conçu avec précision sur la base de caractéristiques environnementales thermiques, mécaniques et chimiques pour répondre aux exigences strictes du processus.


Semi-conducteur VeTekutilise une technologie de traitement avancée pour assurer une répartition uniforme de la chaleur du suscepteur dans la plage de température de fonctionnement, évitant ainsi une croissance non uniforme de la couche épitaxiale provoquée par le gradient de température. Un traitement de précision contrôle la rugosité de la surface, minimise la contamination par les particules et améliore l'efficacité de la conductivité thermique du contact avec la surface de la tranche.


Semi-conducteur VeTekutilise du graphite SGL comme matériau et la surface est traitée avecRevêtement CVD-SiC, qui peut résister longtemps au NH3, au HCl et à une atmosphère à haute température. Le suscepteur LED UV profond à revêtement SiC de VeTek Semiconductor correspond au coefficient de dilatation thermique des tranches épitaxiales AlN/GaN, réduisant ainsi la déformation ou la fissuration des tranches causée par les contraintes thermiques pendant le processus.


Plus important encore, le suscepteur LED UV profond à revêtement SiC de VeTek Semiconductor s'adapte parfaitement aux équipements MOCVD grand public (notamment Veeco K465i, EPIK 700, Aixtron Crius, etc.). Prend en charge des services personnalisés pour la taille des plaquettes (2 à 8 pouces), la conception des emplacements pour plaquettes, la température du processus et d'autres exigences.


Scénarios d'application :


Préparation LED UV profondeApplicable au processus épitaxial des appareils dans la bande inférieure à 260 nm (désinfection UV-C, stérilisation et autres domaines).

Epitaxie de semi-conducteurs au nitrureUtilisé pour la préparation épitaxiale de matériaux semi-conducteurs tels que le nitrure de gallium (GaN) et le nitrure d'aluminium (AlN).

Expériences d'épitaxie au niveau de la rechercheÉpitaxie UV profonde et expériences de développement de nouveaux matériaux dans les universités et les instituts de recherche.


Avec le soutien d'une solide équipe technique, VeTek Semiconductor est en mesure de développer des suscepteurs avec des spécifications et des fonctions uniques en fonction des besoins des clients, de prendre en charge des processus de production spécifiques et de fournir des services à long terme.


DONNÉES SEM DU FILM DE REVÊTEMENT CVD SIC :

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC :

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC
Propriété
Valeur typique
Structure cristalline
Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Revêtement SiC Densité
3,21 g/cm³
Revêtement CVD SiC Dureté
Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille des grains
2~10μm
Pureté chimique
99,99995%
Capacité thermique
640 J·kg-1·K-1
Température de sublimation
2700 ℃
Résistance à la flexion
415 MPa RT 4 points
Module de Young
Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique
300W·m-1·K-1
Expansion thermique (CTE)
4,5×10-6K-1

Semi-conducteur VeTekAteliers de produits de suscepteurs LED UV profonds à revêtement SiC :

SiC coated deep UV LED susceptorSemiconductor process equipmentCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment


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