Revêtement CVD SiC Suscepteur d'épitaxie

Le suscepteur d'épitaxie à revêtement CVD SiC de VeTek Semiconductor est un outil de précision conçu pour la manipulation et le traitement des tranches de semi-conducteurs. Ce suscepteur d'épitaxie de revêtement SiC joue un rôle essentiel dans la promotion de la croissance de films minces, d'épicouches et d'autres revêtements, et peut contrôler avec précision la température et les propriétés des matériaux. Bienvenue à vos demandes supplémentaires.

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Description du produit

Le suscepteur d'épitaxie à revêtement CVD SiC est un type deSuscepteur épi LED MOCVD, qui joue un rôle central dans le réacteur CVD. En tant qu'Epi Susceptor, il constitue non seulement une source de chaleur, mais fournit également une plate-forme de support stable pour le substrat pendant le processus de dépôt.Revêtement SiCpeut réduire efficacement l'oxydation et la contamination du suscepteur de graphite dans des environnements à haute température, garantissant ainsi la grande pureté du matériau déposé.

Basiquepropriétés physiques du revêtement CVD SiC :

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC
Propriété	Valeur typique
Structure cristalline	Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Densité	3,21 g/cm³
Dureté	Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille des grains	2~10μm
Pureté chimique	99,99995%
Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
Température de sublimation	2700 ℃
Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
Module de Young	Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique	300W·m^-1·K^-1
Expansion thermique (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Avantages du produit de suscepteur d'épitaxie de revêtement CVD SiC :

● Dépôt précis: Avec le suscepteur d'épitaxie de revêtement CVD SiC, vous pouvez obtenir un dépôt contrôlé avec précision de films et de revêtements minces pour obtenir des résultats de haute qualité et reproductibles.

● Contamination réduite: Le revêtement SiC minimise le risque de contamination parEpi Sucepteurà base de Graphite, garantissant la pureté du matériau déposé.

● Durabilité: Le revêtement SiC améliore la résistance à l'oxydation et à la corrosion chimique du suscepteur d'épitaxie en graphite, lui conférant une durée de vie plus longue et une fiabilité plus élevée.

Semi-conducteur VeTeks'engage à fournir des produits de haute qualité et des prix compétitifs. Que ce soitSi le récepteur EPIou Suscepteur EPI en graphite de haute pureté, nous pouvons répondre à vos besoins. Nous sommes impatients d'être votre partenaire à long terme en Chine.

Semi-conducteur VeTekSuscepteur d'épitaxie à revêtement CVD SiC Magasins de produits :

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