Suscepteur épi LED MOCVD

Semi-conducteur VeTekc'estSuscepteur épi LED MOCVDest un élément essentiel. Dans le processus de préparation des dispositifs semi-conducteurs,Suscepteur épi LED MOCVDn'est pas seulement une simple plate-forme de chauffage, mais également un outil de traitement de précision, qui a un impact profond sur la qualité, le taux de croissance, l'uniformité et d'autres aspects des matériaux à couches minces.

Les utilisations spécifiques deSuscepteur épi LED MOCVDdans le traitement des semi-conducteurs sont les suivants :

Chauffage du substrat et contrôle de l’uniformité:

Le suscepteur d'épitaxie MOCVD est utilisé pour fournir un chauffage uniforme afin de garantir une température stable du substrat pendant la croissance épitaxiale. Ceci est essentiel pour obtenir des films semi-conducteurs de haute qualité et garantir la cohérence de l’épaisseur et de la qualité cristalline des couches épitaxiales sur le substrat.

Prise en charge des chambres de réacteurs de dépôt chimique en phase vapeur (CVD):

En tant que composant important du réacteur CVD, Susceptor prend en charge le dépôt de composés organométalliques sur les substrats. Cela permet de convertir avec précision ces composés en films solides pour former les matériaux semi-conducteurs souhaités.

Promouvoir la distribution de gaz:

La conception du Susceptor peut optimiser la répartition du flux de gaz dans la chambre de réaction, garantissant que le gaz de réaction entre en contact uniformément avec le substrat, améliorant ainsi l'uniformité et la qualité des films épitaxiaux.

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Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC:

Ateliers de production:

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices：