Bague avec revêtement TaC

L'anneau revêtu VeTeksemi TaC est un composant haute performance adapté aux processus de fabrication de semi-conducteurs. Son revêtement en carbure de tantale (TaC) de conception unique confère au produit une excellente résistance aux températures élevées, à la corrosion et une stabilité mécanique, améliorant considérablement la durée de vie et la fiabilité des composants en graphite dans les équipements semi-conducteurs.

Performance supérieure des revêtements en carbure de tantale :

●   Résistance à très hautes températures : les revêtements TaC peuvent facilement résister à des températures extrêmes allant jusqu'à 2 200 °C et rester stables dans les environnements de chocs thermiques courants dans la fabrication de semi-conducteurs.

●   Excellente stabilité chimique : le revêtement présente une forte résistance aux gaz corrosifs courants tels que l'hydrogène, l'ammoniac, le silane et le silicium, protégeant ainsi efficacement le substrat des attaques chimiques.

●   Excellentes propriétés mécaniques : le revêtement TaC présente une dureté élevée, une résistance élevée à l'usure et une bonne résistance aux chocs thermiques, et peut fonctionner de manière stable pendant une longue période dans des conditions de travail difficiles.

●   Excellente adhérence : le revêtement est étroitement lié au substrat en graphite, empêchant efficacement le revêtement de se décoller et garantissant des performances constantes tout au long de la durée de vie du produit.

●   Haute pureté : le revêtement TaC préparé par CVD a une pureté extrêmement élevée, ce qui minimise l'introduction d'impuretés et fournit un environnement de processus propre pour la fabrication de semi-conducteurs.

Avantages des anneaux revêtus de carbure de tantale :

●   Durée de vie prolongée de l'équipement: Le revêtement TaC bloque efficacement les réactions chimiques et la diffusion des impuretés, prolongeant considérablement la durée de vie des composants en graphite et réduisant les coûts de maintenance.

●   Améliorer l'efficacité de la production: La résistance aux températures élevées et à la corrosion du produit lui permet de fonctionner dans des conditions plus exigeantes, raccourcissant le cycle de production et augmentant la capacité de production.

●   Amélioration de la qualité des produits: Le revêtement TaC de haute pureté aide à réduire la contamination, garantissant ainsi la qualité et la cohérence des produits semi-conducteurs.

VeTek Semiconductor est spécialisé dans les produits de revêtement TaC tels queMandrin de revêtement TaC, Plaque de rotation de revêtement TaC, Entrepreneur en revêtement TaC, Suscepteur de plaquette revêtue de TaCdepuis de nombreuses années. Nos produits annulaires à revêtement TaC ont les fonctions de durée de vie prolongée de l'équipement, d'efficacité de production améliorée et de qualité de produit améliorée. Dans le même temps, VeTek Semiconductor s'engage depuis longtemps à fournir des technologies et des solutions de produits avancées pour l'industrie des semi-conducteurs. Nous espérons sincèrement devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Magasins d'anneaux revêtus de carbure de tantale :