Récepteur de disque

Vetek Semiconductor fournit un suscepteur de disque en graphite de pointe. Le revêtement SiC offre une stabilité thermique supérieure, une excellente résistance chimique et une uniformité améliorée du processus, garantissant des performances et une fiabilité optimales. Découvrez le prochain niveau d'efficacité et de précision avec le suscepteur de disque à revêtement SiC de Vetek Semiconductor.

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Description du produit

Le suscepteur de disque en graphite de Vetek Semiconductor, un produit haute performance pour les processus avancés de fabrication de semi-conducteurs. Notre suscepteur à disque en graphite est conçu pour répondre aux exigences exigeantes de l'industrie et offrir des performances et une fiabilité exceptionnelles.

Ce suscepteur à disque en graphite est OEM pour la plate-forme de réacteur planétaire AIX G5.

Le GaN-on-Si MOCVD est utilisé pour la production épitaxiale de LED, et le réacteur Aixtron G5 améliore le rendement et l'uniformité de la plateforme MOCVD. Un motif uniforme symétrique entièrement tourné sur cinq tranches de 200 mm, utilisant un substrat de silicium d'épaisseur standard et contrôlant le comportement de flexion des tranches, a formalisé ce dont ils avaient besoin pour la fabrication de silicium.

Suscepteur à disque en graphite de haute pureté de Vetek Semiconductor pour GaN-on-Si MOCVD, une solution fiable et rentable pour les processus avancés de fabrication de semi-conducteurs.

Notre suscepteur à disque en graphite de haute pureté est spécialement conçu pour répondre aux exigences des processus GaN-on-Si MOCVD. Grâce à sa stabilité thermique et sa résistance à la chaleur exceptionnelles, il peut résister à des conditions de température exigeantes allant généralement de 800°C à 1 100°C, garantissant des performances optimales pendant le processus de dépôt.

Le matériau graphite de haute pureté utilisé dans notre suscepteur à disque offre une excellente résistance chimique, le rendant compatible avec l'ammoniac (NH3) et les précurseurs de métaux organiques couramment utilisés dans le MOCVD GaN-on-Si. Cela élimine le besoin de revêtements SiC supplémentaires, réduisant ainsi les coûts de production sans compromettre les performances.

Le suscepteur à disque en graphite de haute pureté de Vetek Semiconductor offre une solution rentable sans compromettre la qualité. Sa fiabilité, sa durabilité et sa compatibilité avec les processus GaN-on-Si MOCVD en font le choix préféré des fabricants de semi-conducteurs. Faites confiance à Vetek Semiconductor pour vous fournir des suscepteurs à disques en graphite hautes performances pour vos besoins de fabrication MOCVD GaN-on-Si.