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Bateau en graphite PECVD
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Bateau en graphite PECVD

Le bateau en graphite PECVD de Vetek Semiconductor optimise les processus de revêtement des cellules solaires en espaçant efficacement les tranches de silicium et en induisant une décharge luminescente pour un dépôt uniforme du revêtement. Grâce à une technologie avancée et à des choix de matériaux, les bateaux en graphite PECVD de Vetek semiconductor améliorent la qualité des plaquettes de silicium et augmentent l'efficacité de la conversion de l'énergie solaire. N'hésitez pas à nous contacter.

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Description du produit

VeTek Semiconductor est un fabricant et fournisseur professionnel de bateaux en graphite PECVD en Chine.

Quel est le rôle du bateau en graphite PECVD de cellule solaire (revêtement) de VeTek Semiconductor ?

En tant que support de tranches de silicium normales produites par le processus de revêtement, le bateau en graphite PECVD comporte de nombreuses tranches de bateau avec certains intervalles dans la structure, et il y a un espace très étroit entre les deux tranches de bateau adjacentes, et les tranches de silicium sont placées sur les deux. côtés de la porte vide.

Étant donné que le graphite du matériau du bateau en graphite PECVD a de bonnes propriétés de conductivité électrique et thermique, la tension alternative est demandée dans les deux bateaux adjacents, de sorte que les deux bateaux adjacents forment des pôles positifs et négatifs, lorsqu'il y a une certaine pression et du gaz dans la chambre, une décharge luminescente se produit entre les deux bateaux, une décharge luminescente peut décomposer les gaz SiH4 et NH3 dans l'espace, formant des ions Si et N. Les molécules SiNx sont formées et déposées sur la surface de la plaquette de silicium pour atteindre l'objectif de revêtement.

Bateau en graphite PECVD en tant que support pour le film antireflet de placage de cellules solaires, sa structure et sa taille affectent directement l'efficacité de conversion et l'efficacité de production des plaquettes de silicium. Après des années de recherche et de développement technique, notre usine dispose désormais d'équipements de production avancés, de concepteurs technologiques matures et expérimentés. le personnel de production et les matériaux peuvent choisir des matières premières importées ou des matériaux nationaux haut de gamme. À l'heure actuelle, la maison en graphite fabriquée par notre société a une structure simple, à une distance raisonnable du bateau en graphite, ce qui rend le revêtement de silicium uniforme, améliore la qualité de la plaquette de silicium et rend l'efficacité de conversion de l'énergie solaire élevée.

Vetek Semiconductor propose tous les types de bateaux en graphite dont le marché a actuellement besoin.


Propriétés physiques de base du graphite isostatique :

Propriétés physiques du graphite isostatique
Propriété Unité Valeur typique
Densité apparente g/cm³ 1.83
Dureté HSD 58
Résistivité électrique mΩ.m 10
Résistance à la flexion MPa 47
Résistance à la compression MPa 103
Résistance à la traction MPa 31
Module d'Young GPa 11.8
Expansion thermique (CTE) 10-6K-1 4.6
Conductivité thermique W·m-1·K-1 130
Taille moyenne des grains µm 8-10
Porosity % 10
Teneur en cendres ppm ≤5 (après purification)


Ateliers de production :


Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :


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