Support de plaquette de graphite enduit de TaC

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de supports de plaquettes en graphite revêtus de TaC en Chine. Nous sommes spécialisés dans les revêtements SiC et TaC depuis de nombreuses années. Notre support de plaquettes en graphite revêtu de TaC a une résistance à la température et à l'usure plus élevées. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Vous pouvez être assuré d'acheter un support de plaquette en graphite revêtu de TaC personnalisé auprès de VeTek Semiconductor. Nous sommes impatients de coopérer avec vous, si vous souhaitez en savoir plus, vous pouvez nous consulter dès maintenant, nous vous répondrons à temps !

Le support de tranches en graphite à revêtement TaC VeTek Semiconductor interagit directement avec les tranches du réacteur d'épitaxie, améliorant ainsi l'efficacité et les performances. Avec l'option de revêtement en carbure de silicium ou en carbure de tantale, le support de plaquette en graphite à revêtement TaC VeTek Semiconductor offre une durée de vie prolongée, jusqu'à 2 à 3 fois plus longue avec le carbure de tantale. Compatible avec différents modèles de machines, notamment les fours d'épitaxie LPE SiC, les fours d'épitaxie JSG, NASO.

Le support en graphite à revêtement TaC de VeTek Semiconductor garantit une stœchiométrie de réaction précise, empêche la migration des impuretés et maintient la stabilité de la température au-delà de 2 000 °C. Il présente une résistance remarquable au H2, NH3, SiH4 et Si, protégeant ainsi contre les environnements chimiques difficiles. Résistant aux chocs thermiques, il permet des cycles opérationnels rapides sans délaminage du revêtement.

Le revêtement VeTek Semiconductor TaC garantit une pureté ultra-élevée, élimine les impuretés et garantit une couverture conforme répondant à des tolérances dimensionnelles strictes. Grâce aux capacités avancées de traitement du graphite de VeTek Semiconductor, nous sommes équipés pour répondre à vos besoins de personnalisation. Que vous ayez besoin de services de revêtement ou de solutions complètes, notre équipe d'ingénieurs experts est prête à concevoir la solution parfaite pour vos applications spécifiques. Faites-nous confiance pour vous livrer des produits de haute qualité adaptés à vos exigences et attentes.

Méthode PVT Croissance de cristaux SiC

Paramètre de produit du support de plaquette de graphite enduit de TaC

Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité	14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique	0.3
Coefficient de dilatation thermique	6.3 10-6/K
Dureté (HK)	2000 Hong Kong
Résistance	1×10-5 Ohms*cm
Stabilité thermique	<2500℃
Modifications de la taille du graphite	-10 ~ -20 um
Épaisseur du revêtement	Valeur typique ≥20um (35um±10um)

Atelier de production de semi-conducteurs VeTek

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :

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