Réchauffeur de graphite de revêtement en céramique de carbure de silicium

Semi-conducteur VeTek Réchauffeur de graphite de revêtement en céramique de carbure de siliciumcombine l'excellente conductivité électrique et thermique du graphite avec la résistance aux températures élevées, la résistance à la corrosion et la résistance à l'usure du revêtement céramique-carbone-silicium, et est conçu pour les environnements difficiles de fabrication de semi-conducteurs. 

Réchauffeur de graphite à revêtement céramique en carbure de siliciumest principalement utilisé dans les équipements de revêtement sous vide (évaporation), et les méthodes couramment utilisées sont le PCD (séchage chimique au plasma) et le PVD (dépôt physique en phase vapeur). Ce produit a joué un rôle important dans la promotion du progrès technologique et l'amélioration de l'efficacité de la production dans l'industrie des semi-conducteurs.Nous sommes sincèrement impatients de poursuivre notre coopération avec vous.

Les caractéristiques matérielles et structurelles du radiateur en graphite à revêtement céramique en carbure de silicium sont les suivantes:

Substrat graphite: Le graphite est connu pour sa conductivité thermique élevée et son faible coefficient de dilatation thermique. Il peut réagir rapidement aux changements de température et maintenir la stabilité structurelle à des températures élevées.

Revêtement céramique-carbone-silicium: Le revêtement SiC est uniformément recouvert sur la surface du graphite par dépôt chimique en phase vapeur ou d'autres procédés avancés. Le SiC a une dureté et une résistance à la corrosion chimique extrêmement élevées, ce qui peut protéger le substrat en graphite de l'oxydation à haute température et des environnements corrosifs.

La conception structurelle spéciale du produit du réchauffeur de graphite à revêtement céramique en carbure de silicium détermineles avantages irremplaçables de ce produit dans le processus de traitement des semi-conducteurs:

Chauffage efficace et uniforme:

Conductivité thermique: La conductivité thermique élevée du graphite permet au radiateur d'atteindre et de maintenir rapidement la température requise, et le revêtement SiC assure une répartition uniforme de la chaleur. Ceci est particulièrement important pour les processus de semi-conducteurs qui nécessitent un contrôle précis de la température, tels que le traitement thermique rapide (RTP) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD).

Uniformité de la température: Grâce à une répartition uniforme de la chaleur, le radiateur en graphite à revêtement céramique en carbure de silicium peut réduire efficacement les contraintes thermiques et le gradient de température, garantissant ainsi la cohérence et la stabilité de la qualité des plaquettes semi-conductrices tout au long du processus de chauffage.

Protection anticorrosion:

Résistance chimique: La résistance à la corrosion chimique du revêtement SiC permet au réchauffeur de fonctionner de manière stable et pendant longtemps dans des environnements gazeux et chimiques corrosifs, évitant ainsi d'endommager le substrat en graphite. Cette fonctionnalité est particulièrement critique dans les processus tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD).

Résistance à l'oxydation: À haute température, le revêtement SiC peut empêcher l'oxydation du substrat en graphite, prolonger la durée de vie de l'appareil de chauffage et réduire la fréquence et le coût de maintenance des équipements.

Réduire la contamination par les particules:

Stabilité des surfaces: Le revêtement SiC est non seulement résistant à l'usure, mais empêche également les particules de tomber de la surface du matériau en raison de cycles thermiques ou de réactions chimiques, réduisant ainsi le risque de contamination par des particules pouvant survenir lors de la fabrication des semi-conducteurs et garantissant un environnement de processus de haute propreté.

Améliorer la fiabilité et l’efficacité des processus:

Conception longue durée: En raison de la combinaison de la résistance mécanique du graphite et de la résistance à l'usure du revêtement SiC, le réchauffeur de graphite à revêtement céramique en carbure de silicium peut maintenir un fonctionnement à haut rendement pendant une longue période dans des conditions de processus difficiles, améliorant considérablement la fiabilité globale de l'équipement.

Utilisation efficace de l'énergie: La conductivité thermique élevée du graphite et la stabilité à haute température du revêtement SiC permettent au réchauffeur de réduire la consommation d'énergie tout en améliorant la précision du contrôle de la température, améliorant ainsi l'efficacité globale de la production de semi-conducteurs.

Propriétés physiques de base deRéchauffeur de graphite de revêtement en céramique de carbure de silicium:

Semi-conducteur VeTekRéchauffeur de graphite de revêtement en céramique de carbure de siliciummagasins:

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices:

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