réchauffeur de revêtement en céramique de carbure de silicium

Semi-conducteur VeTekLe radiateur de revêtement céramique en carbure de silicium est un radiateur conçu pour les températures élevées et les environnements difficiles. Il recouvre une couche de revêtement silicium-carbone-céramique (SiC) sur la surface de l'élément chauffant pour conférer à l'équipement une excellente résistance à la chaleur, à la corrosion et une excellente conductivité thermique. 

Réchauffeur de revêtement céramique en carbure de siliciumest principalement utilisé dans les équipements de revêtement sous vide (évaporation). Les méthodes couramment utilisées sont le PCD (Plasma Chemical Drying) et le PVD (Physical vapor deposition), qui sont largement utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs et d'autres applications industrielles à forte demande.

Combiné avec la conception de revêtement haute performance du chauffage de revêtement céramique en carbure de silicium,il peut fournir une excellente solution de chauffage pour les processus à haute température.

Excellente conductivité thermique: Le matériau SiC a une excellente conductivité thermique, garantissant que le radiateur peut obtenir une répartition uniforme de la chaleur dans la zone de travail et réduire les gradients de température.

Fournit une répartition uniforme de la chaleur: Le revêtement céramique en carbure de silicium utilise la conductivité thermique élevée du matériau SiC pour obtenir une répartition uniforme de la température dans toute la zone de chauffage. Ceci est essentiel pour garantir un traitement thermique uniforme des tranches de semi-conducteurs dans divers processus à haute température tels que le traitement thermique rapide (RTP), la diffusion et l'oxydation, en évitant les défauts du produit causés par une surchauffe locale ou une température inégale.

Tolérance à haute température: Le revêtement SiC permet au radiateur de résister à des températures extrêmement élevées, généralement jusqu'à 1 600 °C, adaptées à divers processus de traitement à haute température.

Améliorer la résistance à la chaleur: Étant donné que le revêtement peut résister à des températures extrêmement élevées, il fonctionne bien dans les processus nécessitant un fonctionnement à haute température à long terme. Par exemple, dans les processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le chauffage de revêtement céramique en carbure de silicium peut assurer un fonctionnement stable à long terme de l'équipement à des températures élevées et maintenir des performances de chauffage constantes, améliorant ainsi la répétabilité et la fiabilité du processus.

Résistance à la corrosion chimique: Le revêtement SiC a une résistance extrêmement élevée aux gaz acides, alcalins et corrosifs et peut rester stable pendant longtemps dans un environnement à atmosphère chimique complexe, prolongeant ainsi la durée de vie de l'équipement. 

Prolonger la durée de vie de l'équipement: Le revêtement SiC a une excellente résistance à l'oxydation et à la corrosion, et peut résister efficacement à l'érosion chimique et à l'oxydation à haute température. Ceci est très critique dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, en particulier dans un environnement qui manipule des gaz et des produits chimiques corrosifs. L'effet protecteur du revêtement peut prolonger considérablement la durée de vie de l'appareil de chauffage et réduire la fréquence des coûts de remplacement et de maintenance de l'équipement.

Propriétés physiques de base du réchauffeur de revêtement céramique en carbure de silicium:

Ateliers de chauffage à revêtement céramique en carbure de silicium Semi-conducteur VeTek:

Aperçu de la chaîne industrielle de l'épitaxie des puces semi-conductrices VeTek: