Revêtement céramique en carbure de silicium

Vetek Semi-conducteur Revêtement céramique en carbure de siliciumest un revêtement protecteur haute performance fabriqué à partir d'un matériau en carbure de silicium (SiC) extrêmement dur et résistant à l'usure, qui offre une excellente résistance à la corrosion chimique et une stabilité à haute température. Ces propriétés sont cruciales dans la production de semi-conducteurs, c'est pourquoi le revêtement céramique en carbure de silicium est largement utilisé sur les composants clés des équipements de fabrication de semi-conducteurs.

Le rôle spécifique joué par le revêtement céramique en carbure de silicium Vetek Semiconductor dans la production de semi-conducteurs estcomme suit:

Améliorer la durabilité des équipements: Le revêtement céramique en carbure de silicium offre une excellente protection de surface pour les équipements de fabrication de semi-conducteurs grâce à sa dureté et sa résistance à l'usure extrêmement élevées. En particulier dans les environnements de processus à haute température et hautement corrosifs, tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et la gravure au plasma, le revêtement céramique en carbure de silicium peut prévenir efficacement les dommages à la surface de l'équipement dus à l'érosion chimique ou à l'usure physique, prolongeant ainsi considérablement la durée de vie de l'équipement et réduire les temps d'arrêt causés par le remplacement et l'entretien fréquents.

Améliorer la pureté du processus: Dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, toute petite contamination peut entraîner des défauts du produit. L'inertie chimique du revêtement céramique en carbure de silicium lui permet de rester stable dans des conditions extrêmes, d'empêcher le matériau de libérer des particules ou des impuretés et d'assurer la pureté de l'environnement pendant le processus. Ceci est particulièrement important pour les étapes de fabrication qui nécessitent une haute précision et une grande propreté, telles que le PECVD et l’implantation ionique.

Optimiser la gestion thermique: Dans le traitement des semi-conducteurs à haute température, tel que le traitement thermique rapide (RTP) et les processus d'oxydation, la conductivité thermique élevée du revêtement céramique en carbure de silicium permet une répartition uniforme de la température à l'intérieur de l'équipement. Cela contribue à réduire les contraintes thermiques et la déformation des matériaux causées par les fluctuations de température, améliorant ainsi la précision et la cohérence de la fabrication des produits.

Prise en charge d'un environnement de processus complexe : Dans les processus qui nécessitent un contrôle complexe de l'atmosphère, tels que les processus de gravure ICP et PSS, la stabilité et la résistance à l'oxydation du réchauffeur de revêtement céramique en carbure de silicium garantissent les performances stables de l'équipement en fonctionnement à long terme, réduisant ainsi le risque de dégradation du matériau ou de l'équipement. dommages dus aux changements environnementaux.

Vetek Semi-conducteurse concentre sur la fabrication et la fourniture de produits de haute performanceRevêtement céramique en carbure de silicium, et s'engage à fournir des technologies et des solutions de produits avancées pour l'industrie des semi-conducteurs.Nous espérons sincèrement être votre partenaire à long terme en Chine.

Propriétés physiques de base deRevêtement céramique en carbure de silicium:

Ateliers de revêtement céramique en carbure de silicium VeTek Semiconductor:

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices: