Plaque de rotation de revêtement TaC

La plaque de rotation à revêtement TaC de VeTek Semiconductor a une composition de haute pureté, une teneur en impuretés inférieure à 5 ppm et une structure dense et uniforme, qui est largement utilisée dans les systèmes LPE EPI, les systèmes Aixtron, les systèmes Nuflare, les systèmes TEL CVD, les systèmes VEECO, TSI. systèmes.

Excellentes propriétés mécaniques :

Dureté du revêtement jusqu'à 2300HV, avec une excellente résistance à l'usure.

L'adhérence entre le revêtement et le substrat est forte et il n'est pas facile de tomber ou de se décoller.

Le revêtement peut toujours conserver une bonne stabilité structurelle à haute température.

Excellente résistance à la corrosion :

Le matériau TaC lui-même présente une excellente stabilité chimique et une excellente résistance à la corrosion.

Les revêtements des semi-conducteurs VeTek fonctionnent bien dans une variété d'environnements gazeux agressifs.

Peut protéger efficacement les composants internes de l'équipement contre les dommages causés par la corrosion.

Finition de surface élevée :

Le semi-conducteur VeTek utilise un processus de revêtement précis pour produire la finition souhaitée.

Une faible rugosité de surface contribue à réduire l’accumulation et le dépôt de particules.

La consistance du revêtement est bonne :

VeTek Semiconductor dispose d'un système de contrôle de qualité solide pour garantir des performances constantes entre les lots.

L'épaisseur du revêtement est uniformément répartie et il n'y a pas de défauts locaux évidents.

Excellentes performances d’application pratique :

Le revêtement TaC des semi-conducteurs VeTek est largement utilisé par de nombreux fabricants d'équipements épitaxiaux bien connus dans le pays et à l'étranger.

Paramètre de produit de la plaque de rotation à revêtement TaC :

Chaîne industrielle :

Atelier de production