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Disque de rotation planétaire recouvert de carbure de tantale
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Disque de rotation planétaire recouvert de carbure de tantale

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de disques de rotation planétaires recouverts de carbure de tantale en Chine. Nous sommes spécialisés dans le revêtement céramique depuis de nombreuses années. Nos produits ont une grande pureté et une résistance aux températures élevées. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme dans Chine.

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Description du produit



Un disque de rotation planétaire revêtu de carbure de tantale de haute qualité est proposé par le fabricant chinois VeTek Semiconductor. AcheterRevêtement en carbure de tantaleDisque de rotation planétaire de haute qualité directement à bas prix.

Le disque de rotation planétaire revêtu de carbure de tantale est un accessoire conçu pour le système AIXTRON G10 MOCVD, visant à améliorer l'efficacité et la qualité de la fabrication de semi-conducteurs. Fabriqué à partir de matériaux de haute qualité et fabriqué avec précision, le disque de rotation planétaire revêtu de carbure de tantale offre des performances et une fiabilité exceptionnelles pourDépôt chimique en phase vapeur d'organo-métalliques (MOCVD) processus.

Le disque planétaire est construit à l'aide d'un substrat en graphite recouvert deTaC MCV, offrant une excellente stabilité thermique, une grande pureté et une résistance aux températures élevées.

Personnalisable pour s'adapter à différentes tailles de plaquettes semi-conductrices, le disque planétaire convient à diverses exigences de production. Sa construction robuste est spécialement conçue pour résister aux conditions de fonctionnement exigeantes du système MOCVD, garantissant des performances durables et minimisant les temps d'arrêt et les coûts de maintenance associés aux supports et suscepteurs de plaquettes.

Avec le disque planétaire, leSystème AIXTRON G10 MOCVDpeut atteindre une efficacité plus élevée et des résultats supérieurs dans la fabrication de semi-conducteurs. Sa stabilité thermique exceptionnelle, sa compatibilité avec différentes tailles de plaquettes et ses performances fiables en font un outil essentiel pour optimiser l'efficacité de la production et obtenir des résultats exceptionnels dans l'environnement difficile du MOCVD.



Paramètre de produit du disque de rotation planétaire revêtu de carbure de tantale:


Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité 14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique 0.3
Coefficient de dilatation thermique 6,3*10-6/K
Dureté (HK) 2000 Hong Kong
Résistance 1×10-5Ohm*cm
Stabilité thermique <2500℃
Modifications de la taille du graphite -10~-20um
Épaisseur du revêtement Valeur typique ≥20um (35um±10um)


AlGaN barrier: Al composition uniformity:


Al composition uniformity


Atelier de production de semi-conducteurs VeTek:


Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk


Balises actives: Disque de rotation planétaire recouvert de carbure de tantale, Chine, fabricant, fournisseur, usine, personnalisé, achat, avancé, durable, fabriqué en Chine
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