Pièce demi-lune recouverte de carbure de tantale pour LPE

VeTek Semiconductor est une pièce demi-lune revêtue de carbure de tantale à grande échelle destinée au fabricant et innovateur de LPE en Chine. Nous sommes spécialisés dans le revêtement TaC depuis de nombreuses années. Nos produits peuvent résister à des températures supérieures à 2000 degrés Celsius et prolonger la durée de vie des consommables. Nous sommes impatients pour devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

En tant que fabricant professionnel, VeTek Semiconductor souhaite vous fournir une pièce demi-lune revêtue de carbure de tantale de haute qualité pour LPE.

VeTek Semiconductor est un leader professionnel en Chine SiC, revêtement TaC, fabricant de SiC solide de haute qualité et à prix raisonnable. Nos pièces demi-lune revêtues de carbure de tantale pour LPE sont utilisées dans la chambre de réaction des équipements d'épitaxie horizontale et verticale pour transporter le substrat, le contrôle de la température, la chaleur. conservation, ventilation, protection et autres fonctions, de manière à contrôler conjointement l'épaisseur, le dopage, les défauts et d'autres caractéristiques matérielles de la croissance de la couche d'épitaxie SiC à l'intérieur de la chambre de réaction.

Produits associés à VeTek Semiconductor : demi-lune supérieure, demi-lune inférieure, capot de protection, capot isolant, interface de dérivation d'air de traitement. Notre société s'engage à fournir à ses clients une gamme complète de solutions de composants à revêtement SiC et TaC pour chambres de réaction.

Paramètre de produit de la pièce demi-lune revêtue de carbure de tantale pour LPE

Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité	14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique	0.3
Coefficient de dilatation thermique	6.3 10-6/K
Dureté (HK)	2000 Hong Kong
Résistance	1×10-5 Ohms*cm
Stabilité thermique	<2500℃
Modifications de la taille du graphite	-10~-20um
Épaisseur du revêtement	Valeur typique ≥20um (35um±10um)

Atelier de production de semi-conducteurs VeTek

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :

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