Couverture enduite de carbure de tantale

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de revêtements en carbure de tantale en Chine. Nous sommes spécialisés dans les revêtements TaC et SiC depuis de nombreuses années. Nos produits ont une résistance à la corrosion et une résistance élevée. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Trouvez une vaste sélection de couvercles revêtus de carbure de tantale en provenance de Chine chez VeTek Semiconductor. Fournissez un service après-vente professionnel et le bon prix, dans l'attente de la coopération. Le couvercle recouvert de carbure de tantale développé par VeTek Semiconductor est un accessoire spécialement conçu pour le système AIXTRON G10 MOCVD, visant à optimiser l'efficacité et à améliorer la qualité de fabrication des semi-conducteurs. Il est méticuleusement conçu à partir de matériaux de haute qualité et fabriqué avec la plus grande précision, garantissant des performances et une fiabilité exceptionnelles pour les processus de dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD).

Construit avec un substrat en graphite recouvert de carbure de tantale (TaC) par dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le couvercle revêtu de carbure de tantale offre une stabilité thermique exceptionnelle, une grande pureté et une résistance aux températures élevées. Cette combinaison unique de matériaux offre une solution fiable pour les conditions opérationnelles exigeantes du système MOCVD.

Le couvercle revêtu de carbure de tantale est personnalisable pour s'adapter à différentes tailles de plaquettes semi-conductrices, ce qui le rend adapté à diverses exigences de production. Sa construction robuste est spécialement conçue pour résister à l'environnement MOCVD difficile, garantissant des performances durables et minimisant les temps d'arrêt et les coûts de maintenance associés aux supports et suscepteurs de plaquettes.

En incorporant le capot TaC dans le système AIXTRON G10 MOCVD, les fabricants de semi-conducteurs peuvent obtenir une efficacité plus élevée et des résultats supérieurs. La stabilité thermique exceptionnelle, la compatibilité avec différentes tailles de tranches et les performances fiables du disque planétaire en font un outil indispensable pour optimiser l'efficacité de la production et obtenir des résultats exceptionnels dans le processus MOCVD.

Paramètre de produit du couvercle recouvert de carbure de tantale

Propriétés physiques du revêtement TaC
Densité	14,3 (g/cm³)
Émissivité spécifique	0.3
Coefficient de dilatation thermique	6.3 10-6/K
Dureté (HK)	2000 Hong Kong
Résistance	1×10-5 Ohms*cm
Stabilité thermique	<2500℃
Modifications de la taille du graphite	-10~-20um
Épaisseur du revêtement	Valeur typique ≥20um (35um±10um)

Performances des plaquettes après utilisation de nos composants :

Atelier de production de semi-conducteurs VeTek

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :

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