Partie supérieure en demi-lune avec revêtement SiC

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fournisseurs de pièces de demi-lune supérieures personnalisées revêtues de SiC en Chine, spécialisé dans les matériaux avancés depuis plus de 20 ans. La partie supérieure en demi-lune de VeTek Semiconductor avec revêtement SiC est spécialement conçue pour les équipements épitaxiaux SiC, servant de composant crucial dans la chambre de réaction. Fabriqué à partir de graphite ultra-pur de qualité semi-conducteur, il garantit d'excellentes performances. Nous vous invitons à visiter notre usine en Chine.

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Description du produit

En tant que fabricant professionnel, nous souhaitons vous fournir une partie supérieure en demi-lune avec revêtement SiC de haute qualité.

La partie supérieure en demi-lune de VeTek Semiconductor avec revêtement SiC est spécialement conçue pour la chambre épitaxiale SiC. Ils ont une large gamme d'applications et sont compatibles avec différents modèles d'équipements.

Scénario d'application :

Chez VeTek Semiconductor, nous sommes spécialisés dans la fabrication de pièces supérieures en demi-lune revêtues de SiC de haute qualité. Nos produits revêtus de SiC et de TaC sont spécialement conçus pour les chambres épitaxiales SiC et offrent une large compatibilité avec différents modèles d'équipements.

La partie supérieure en demi-lune du semi-conducteur VeTek avec revêtement SiC sert de composants dans la chambre épitaxiale SiC. Ils garantissent des conditions de température contrôlées et un contact indirect avec les plaquettes, maintenant la teneur en impuretés en dessous de 5 ppm.

Pour garantir une qualité optimale de la couche épitaxiale, nous surveillons attentivement les paramètres critiques tels que l’épaisseur et l’uniformité de la concentration de dopage. Notre évaluation comprend l'analyse des données sur l'épaisseur du film, la concentration du support, l'uniformité et la rugosité de la surface pour obtenir la meilleure qualité de produit.

La partie supérieure Halfmoon VeTek Semiconductor avec revêtement SiC est compatible avec divers modèles d'équipement, notamment LPE, NAURA, JSG, CETC, NASO TECH, et plus encore.

Contactez-nous dès aujourd'hui pour découvrir notre partie supérieure en demi-lune de haute qualité revêtue de SiC ou planifier une visite à notre usine.

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC :

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC
Propriété	Valeur typique
Structure en cristal	Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Densité	3,21 g/cm³
Dureté	Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille d'un grain	2~10μm
Pureté chimique	99,99995%
Capacité thermique	640 J·kg-1·K-1
Température de sublimation	2700 ℃
Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
Module d'Young	Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique	300W·m-1·K-1
Expansion thermique (CTE)	4,5×10-6K-1

Atelier de production de semi-conducteurs VeTek

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :

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