Récepteur Aixtron MOCVD

Les Suscepteurs produits parVetek Semi-conducteursont constitués d'un substrat en graphite et d'un matériau de revêtement en carbure de silicium (SiC). Compte tenu de la résistance plus élevée à l’usure, à la corrosion et de la dureté extrêmement élevée du matériau SiC, il est particulièrement adapté à une utilisation dans des environnements de processus difficiles. Par conséquent, les suscepteurs produits par Vetek Semiconductor peuvent être directement utilisés dans les processus MOCVD à haute température sans traitement de surface supplémentaire.

Les suscepteurs sont des composants clés dans la fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les équipements MOCVD pour les processus de dépôt de couches minces. Le rôle principal deRécepteur Aixtron SiCdans le processus MOCVD consiste à transporter des tranches de semi-conducteurs, à assurer un dépôt uniforme et de haute qualité de films minces en fournissant une distribution de chaleur et un environnement de réaction uniformes, permettant ainsi une production de films minces de haute qualité.

Récepteur Aixtron MOCVDest généralement utilisé pour soutenir et fixer la base des tranches semi-conductrices afin d'assurer la stabilité de la tranche pendant le processus de dépôt. Dans le même temps, le revêtement de surface de l'Aixtron MOCVD Susceptor est en carbure de silicium (SiC), un matériau hautement conducteur thermique. Le revêtement SiC assure une température uniforme à la surface de la plaquette, et un chauffage uniforme est essentiel pour obtenir des films de haute qualité.

De plus, leRécepteur Aixtron MOCVDque nous produisons joue un rôle plus important dans le contrôle du débit et de la distribution des gaz réactifs grâce à la conception optimisée des matériaux. Évitez les courants de Foucault et les gradients de température pour obtenir un dépôt uniforme du film.

Plus important encore, dans le processus MOCVD, le matériau de revêtement en carbure de silicium (SiC) présente une résistance à la corrosion, doncVetek Semi-conducteurc'estRécepteur Aixtron MOCVDpeut également résister à des températures élevées et à des gaz corrosifs.

Propriétés physiques de base deREVÊTEMENT SIC:

VeTek Semiconductor Wafer Magasins de bateaux:

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices: