Anneau de bord en SiC solide pour processus de dépôt chimique en phase vapeur

Anneau de bord en SiC solide avec processus CVD :

● Matériel: La bague de mise au point est fabriquée en SiC massif, un matériau céramique de haute pureté et haute performance. Il est fabriqué selon des méthodes telles que le frittage à haute température ou le compactage de poudres SiC. Le matériau SiC solide offre une durabilité exceptionnelle, une résistance aux températures élevées et d'excellentes propriétés mécaniques.

●  Avantages: L'anneau cvd sic offre une stabilité thermique exceptionnelle, conservant son intégrité structurelle même dans des conditions de température élevée rencontrées dans les processus de gravure sèche. Sa dureté élevée garantit une résistance aux contraintes mécaniques et à l’usure, conduisant à une durée de vie prolongée. De plus, le SiC solide présente une inertie chimique, le protégeant de la corrosion et conservant ses performances dans le temps.

Revêtement CVD-SiC :

●  Matériel: Le revêtement CVD SiC est un dépôt de couche mince de SiC utilisant des techniques de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Le revêtement est appliqué sur un matériau de substrat, tel que du graphite ou du silicium, pour conférer des propriétés SiC à la surface.

●  Comparaison: Bien que les revêtements CVD SiC offrent certains avantages, tels que le dépôt conforme sur des formes complexes et les propriétés de film réglables, ils peuvent ne pas égaler la robustesse et les performances du SiC solide. L'épaisseur du revêtement, la structure cristalline et la rugosité de la surface peuvent varier en fonction des paramètres du processus CVD, ce qui peut avoir un impact sur la durabilité et les performances globales du revêtement.

En résumé, la bague de focalisation en SiC solide VeTek Semiconductor est un choix exceptionnel pour les applications de gravure sèche. Son matériau SiC solide garantit une résistance aux hautes températures, une excellente dureté et une inertie chimique, ce qui en fait une solution fiable et durable. Alors que le revêtement CVD SiC offre une flexibilité de dépôt, l'anneau cvd sic excelle en offrant une durabilité et des performances inégalées requises pour les processus de gravure à sec exigeants.

Propriétés physiques du SiC solide