Pommeau de douche SiC

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de pommes de douche SiC en Chine. Nous sommes spécialisés dans les matériaux SiC depuis de nombreuses années. La pomme de douche SiC est choisie comme matériau de bague de focalisation en raison de son excellente stabilité thermochimique, de sa résistance mécanique élevée et de sa résistance à l'érosion plasma. .Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Vous pouvez être assuré d'acheter une pomme de douche SiC dans notre usine.

Les matériaux en carbure de silicium présentent une combinaison unique d'excellentes propriétés thermiques, électriques et chimiques, ce qui les rend idéaux pour les applications de l'industrie des semi-conducteurs où des matériaux hautes performances sont requis.

La technologie révolutionnaire de VeTek Semiconductor permet la production de pomme de douche SiC, un matériau en carbure de silicium de très haute pureté créé par le processus de dépôt chimique en phase vapeur.

La pomme de douche SiC est un composant crucial dans la fabrication de semi-conducteurs, spécialement conçue pour les systèmes MOCVD, l'épitaxie de silicium et les processus d'épitaxie SiC. Fabriqué à partir de carbure de silicium solide (SiC), ce composant peut résister aux conditions extrêmes du traitement au plasma et des applications à haute température.

Le carbure de silicium (SiC) est connu pour sa conductivité thermique élevée, sa résistance à la corrosion chimique et sa résistance mécanique exceptionnelle, ce qui en fait un matériau idéal pour les composants SiC en vrac comme la pomme de douche SiC. La pomme de douche à gaz assure une répartition uniforme des gaz de traitement sur la surface de la tranche, ce qui est essentiel pour produire des couches épitaxiales de haute qualité. Les anneaux de focalisation et les anneaux de bord, souvent fabriqués à partir de CVD-SiC, maintiennent une distribution uniforme du plasma et protègent la chambre de la contamination, améliorant ainsi l'efficacité et le rendement de la croissance épitaxiale.

Avec son contrôle précis du débit de gaz et ses propriétés matérielles exceptionnelles, la pomme de douche SiC est un composant clé du traitement moderne des semi-conducteurs, prenant en charge les applications avancées en épitaxie de silicium et d'épitaxie SiC.

VeTek Semiconductor propose une pomme de douche à semi-conducteur en carbure de silicium fritté à faible résistivité. Nous avons la capacité de concevoir et de fournir des matériaux céramiques avancés sur mesure en utilisant une variété de capacités uniques.

Paramètre de produit de la pomme de douche SiC :

Propriétés physiques du SiC solide
Densité	3.21	g/cm3
Résistivité de l'électricité	102	Ω/cm
Résistance à la flexion	590	MPa	(6000kgf/cm2)
Module d'Young	450	GPa	(6000kgf/mm2)
Dureté Vickers	26	GPa	(2650kgf/mm2)
C.T.E. (RT-1000℃)	4.0	x10-6/K
Conductivité thermique (RT)	250	W/mK