Pommeau de douche à gaz SiC solide

Pommeau de douche à gaz SiC solide

VeTek Semiconductor est une société intégrée dédiée à la recherche, à la production et aux ventes. Avec plus de 20 ans d'expérience, notre équipe est spécialisée dans les revêtements SiC, TaC et CVD Solid SiC. Bienvenue à acheter chez nous une pomme de douche à gaz SiC solide.

Les pommeaux de douche à gaz VeTek Semiconductor Solid SiC sont couramment utilisés pour répartir uniformément les gaz précurseurs sur la surface du substrat pendant les processus CVD de semi-conducteurs. L'utilisation du matériau CVD-SiC pour les pommes de douche offre plusieurs avantages. Sa conductivité thermique élevée aide à dissiper la chaleur générée lors du processus CVD, garantissant une répartition uniforme de la température sur le substrat. De plus, la stabilité chimique de la pomme de douche à gaz en SiC solide lui permet de résister aux gaz corrosifs et aux environnements difficiles couramment rencontrés dans les processus CVD. La conception des pommes de douche CVD-SiC peut être adaptée aux systèmes CVD et aux exigences de processus spécifiques. Cependant, ils sont généralement constitués d’un composant en forme de plaque ou de disque avec une série de trous ou de fentes percés avec précision. La configuration et la géométrie des trous sont soigneusement conçues pour garantir une distribution uniforme du gaz et une vitesse d'écoulement uniforme sur la surface du substrat.

Propriétés physiques du SiC solide

Atelier de production de semi-conducteurs VeTek

Chaîne industrielle de l’épitaxie des semi-conducteurs