Bénéficiaire du PEV

VeTek Semiconductor est un fabricant leader professionnel de récepteurs EPI en Chine, de récepteurs planétaires ALD et de récepteurs en graphite à revêtement TaC. et notre suscepteur EPI est un élément important decroissance épitaxialeDans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Sa fonction principale est de soutenir et de chauffer la tranche afin qu'une couche épitaxiale de haute qualité puisse croître uniformément sur la surface de la tranche.

Les suscepteurs EPI de VeTek Semiconductors sont généralement constitués de graphite de haute pureté et recouverts d'une couche de carbure de silicium (SiC).Cette conception présente les principaux avantages suivants:

● Stabilité à haute température: Le suscepteur EPI peut rester stable dans un environnement à haute température, assurant la croissance uniforme de la couche épitaxiale.

● Résistance à la corrosion: Le revêtement SiC a une excellente résistance à la corrosion et peut résister à l'érosion des gaz chimiques, prolongeant ainsi la durée de vie du plateau.

● Conductivité thermique: La conductivité thermique élevée du matériau SiC assure une répartition uniforme de la température de la plaquette pendant le chauffage, améliorant ainsi la qualité de la couche épitaxiale.

● Correspondance du coefficient de dilatation thermique: Le coefficient de dilatation thermique du SiC est similaire à celui du graphite, évitant ainsi le problème de perte de revêtement dû à la dilatation et à la contraction thermiques.

Propriétés physiques de base deREVÊTEMENT CVD SIC:

Atelier de production de revêtement CVD SiC:

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices: