Bateau de plaquette de carbure de silicium enduit de SiC

VeTek Semiconductor est un fabricant et fournisseur chinois qui produit principalement des bateaux à plaquettes en carbure de silicium revêtus de SiC avec de nombreuses années d'expérience. J'espère établir des relations commerciales avec vous. Le bateau à plaquettes en carbure de silicium revêtu de SiC est utilisé dans les fours de diffusion de semi-conducteurs pour transporter les plaquettes pour divers processus à haute température tels que l'implantation ionique, la diffusion et le recuit. Il peut fournir un environnement stable pour les plaquettes, garantissant l'uniformité et la cohérence de la température pendant le traitement.

Les plaques de carbure de silicium recouvertes de SiC ont une résistance thermique et une stabilité chimique plus élevées, ce qui leur permet de fonctionner à des températures plus élevées et d'offrir une durée de vie plus longue. De plus, ils ont des taux d’évaporation des matériaux et d’adsorption des gaz plus faibles, contribuant ainsi à réduire l’impact des impuretés sur le traitement des plaquettes.

Nous pouvons fabriquer différents types de bateaux à plaquettes en carbure de silicium tels que des bateaux à plaquettes horizontaux, des bateaux à plaquettes verticaux et tout autre bateau personnalisé.

Avantages de notre carbure de silicium de haute pureté :

1. Stabilité à haute température

2. Inertie chimique

3. Faible teneur en impuretés

4. Conductivité thermique

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé

Atelier de production de semi-conducteurs VeTek