Palette en porte-à-faux en carbure de silicium

La palette en porte-à-faux en carbure de silicium de VeTek Semiconductor est un composant important dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, particulièrement adaptée aux fours à diffusion ou aux fours LPCVD dans les processus à haute température tels que la diffusion et le RTP. Notre palette en porte-à-faux en carbure de silicium est soigneusement conçue et fabriquée avec une excellente résistance aux températures élevées et une excellente résistance mécanique, et peut transporter de manière sûre et fiable les plaquettes vers le tube de traitement dans des conditions de traitement difficiles pour divers processus à haute température tels que la diffusion et le RTP. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Vous pouvez être assuré d'acheter une palette en porte-à-faux en carbure de silicium personnalisée auprès de VeTek Semiconducto. Nous sommes impatients de coopérer avec vous, si vous souhaitez en savoir plus, vous pouvez nous consulter dès maintenant, nous vous répondrons à temps !

La palette cantilever en carbure de silicium de VeTek Semiconductor est fabriquée en carbure de silicium de haute pureté et présente une excellente résistance aux températures élevées et une excellente résistance mécanique. C'est un composant clé indispensable dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, notamment dans les fours à diffusion ou LPCVD et les procédés RTP. La conception et la fabrication précises de la palette en porte-à-faux en carbure de silicium garantissent le positionnement et le transfert sûrs des plaquettes pour répondre aux exigences des processus de haute précision.

La palette en porte-à-faux en carbure de silicium de VeTek Semiconductor est constituée de carbure de silicium comme matériau principal. Le carbure de silicium présente les caractéristiques d'une résistance élevée et d'une bonne stabilité thermique, de sorte qu'il peut résister aux conditions difficiles de l'environnement de traitement à haute température des fours à semi-conducteurs. L’une des raisons du choix du carbure de silicium est qu’il peut s’adapter à l’environnement à haute température des fours à semi-conducteurs.

La conception de la palette en porte-à-faux en carbure de silicium lui permet de s'étendre dans le tube de traitement dans le four et d'être fermement fixée à une extrémité à l'extérieur du tube. Cette conception garantit que la tranche en cours de traitement reste stable et soutenue pendant le processus et minimise les interférences avec l'environnement thermique du four.

VeTek Semiconductor s'engage à fournir des produits de palettes cantilever SiC de haute qualité. Nos produits sont soigneusement conçus et fabriqués pour répondre aux exigences strictes du processus de fabrication des semi-conducteurs. Les excellentes performances et la fiabilité de la palette cantilever en carbure de silicium en font un composant clé indispensable dans l'industrie des semi-conducteurs. VeTek Semiconductor s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs et nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Paramètre de produit de la palette en porte-à-faux en carbure de silicium

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé
Propriété	Valeur typique
Température de travail (°C)	1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur)
Contenu SiC	> 99,96%
Contenu Si gratuit	< 0,1%
Densité apparente	2,60-2,70 g/cm3
Porosité apparente	< 16%
Force de compression	> 600 MPa
Résistance à la flexion à froid	80-90 MPa (20°C)
Résistance à la flexion à chaud	90-100 MPa (1 400 °C)
Dilatation thermique à 1 500 °C	4,70 10-6/°C
Conductivité thermique à 1200°C	23 W/m•K
Module d'élasticité	240 GPa
Résistance aux chocs thermiques	Extrêmement bon

Atelier de production de semi-conducteurs VeTek

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :

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