Bateau à plaquettes en carbure de silicium

En tant que fabricant professionnel, VeTek Semiconductor souhaite vous fournir un bateau à plaquettes en carbure de silicium de haute qualité.

Excellentes performances thermiques : les plaques de carbure de silicium de haute pureté de VeTek Semiconductor ont d'excellentes performances thermiques, sont stables dans les environnements à haute température et ont une excellente conductivité thermique, leur permettant de fonctionner à des températures bien supérieures à la température ambiante. Cela rend le bateau à plaquettes en carbure de silicium de haute pureté idéal pour les applications d'endurance à haute puissance et à haute température.

Excellente résistance à la corrosion : le bateau à plaquettes en carbure de silicium de haute pureté est un outil clé pour la fabrication de semi-conducteurs et il présente une forte résistance à divers agents corrosifs. En tant que support fiable, il peut résister aux effets des températures élevées et de la corrosion dans un environnement chimique, garantissant ainsi le traitement sûr et efficace des plaquettes de carbure de silicium. En tant que support fiable, il peut résister aux effets des températures élevées et de la corrosion dans un environnement chimique, garantissant ainsi le traitement sûr et efficace des plaquettes de carbure de silicium.

Intégrité dimensionnelle : le bateau à plaquettes en carbure de silicium de haute pureté ne rétrécit pas pendant le processus de frittage, maintenant ainsi l'intégrité dimensionnelle et éliminant les contraintes résiduelles qui pourraient provoquer la déformation ou la fissuration des pièces. Cela permet la fabrication de pièces de formes complexes et de dimensions précises. Que ce soit dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs ou dans d'autres domaines industriels, les wafer boat en carbure de silicium de haute pureté offrent un contrôle dimensionnel fiable pour garantir que les pièces répondent aux spécifications.

En tant qu'outil polyvalent, le bateau à plaquettes en carbure de silicium de haute pureté de VeTek Semiconductor peut être appliqué à diverses technologies de fabrication de semi-conducteurs, notamment la croissance épitaxiale et le dépôt chimique en phase vapeur. Sa conception durable et sa nature non réactive rendent le bateau à plaquettes en carbure de silicium de haute pureté adapté à une variété de produits chimiques de traitement, garantissant qu'il peut s'adapter en douceur à différents environnements de traitement.

Dans la fabrication de semi-conducteurs, la croissance épitaxiale et le dépôt chimique en phase vapeur sont des étapes de processus courantes utilisées pour développer des tranches et des films minces de haute qualité. Le bateau SiC de haute pureté joue un rôle important en tant que support, capable de résister à l'influence des températures élevées et des produits chimiques pour garantir des processus de croissance et de dépôt précis.

En plus de sa conception durable, le bateau SiC de haute pureté est également non réactif. Cela signifie qu'il ne réagira pas négativement avec les produits chimiques de traitement, préservant ainsi l'intégrité et les performances du bateau. Cela fournit aux fabricants de semi-conducteurs un outil fiable pour garantir la cohérence et la répétabilité du processus de production.

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé

Atelier de production de semi-conducteurs VeTek

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :