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Support de plaquette en carbure de silicium hautement pur
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Support de plaquette en carbure de silicium hautement pur

Les supports de plaquettes en carbure de silicium de haute pureté VeTek Semiconductor sont des composants importants dans le traitement des semi-conducteurs, conçus pour contenir et transporter en toute sécurité des plaquettes de silicium délicates, jouant un rôle clé dans toutes les étapes de fabrication. Les supports de plaquettes en carbure de silicium hautement pur de VeTek Semiconductor sont soigneusement conçus et fabriqués pour garantir d'excellentes performances et fiabilité. VeTek Semiconductor s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs et nous sommes impatients d'être votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

VeTek Semiconductor est un leader professionnel en Chine fabricant de supports de plaquettes en carbure de silicium hautement pur avec une qualité élevée et un prix raisonnable. Bienvenue à nous contacter.

Le support de tranches en carbure de silicium hautement pur de VeTek Semiconductor est un support conçu pour plusieurs tranches afin de maximiser l'efficacité de l'espace dans la chambre de traitement. Ces supports de tranches en carbure de silicium de haute pureté sont généralement rectangulaires ou cylindriques, et chaque support comporte des fentes ou des rainures usinées avec précision qui sont séparées les unes des autres pour maintenir fermement une seule tranche en position verticale. Les supports de plaquettes en carbure de silicium hautement pur ont une excellente résistance aux températures élevées, aux produits chimiques corrosifs et aux contraintes mécaniques, ce qui les rend idéaux pour protéger les plaquettes contre les dommages potentiels. Ils sont fabriqués à partir de carbure de silicium (SiC) de haute pureté pour garantir l'intégrité et la sécurité des plaquettes pendant le traitement.

Les supports de plaquettes en carbure de silicium à haute pureté jouent un rôle essentiel dans les processus complexes tels que la diffusion, le RTP et les champs thermiques, servant de support stable pour les plaquettes afin d'obtenir un transfert transparent entre différents équipements et étapes. Sa structure verticale minimise l'espace au sol dans la chambre de traitement, optimise le débit de production et peut gérer efficacement de grands lots de plaquettes. Les supports de plaquettes en carbure de silicium hautement pur sont connus pour leur excellente résistance aux températures élevées, à la corrosion et à leur résistance mécanique afin de protéger les plaquettes contre les dommages potentiels.

Le support de tranche en carbure de silicium de haute pureté de VeTek Semiconductor est fabriqué en carbure de silicium (SiC) de haute pureté et présente une excellente résistance aux températures élevées, à la corrosion chimique et une résistance mécanique pour protéger l'intégrité des tranches dans des environnements difficiles. Sa structure soigneusement conçue et ses fentes traitées avec précision garantissent que les plaquettes sont fermement positionnées pour répondre aux besoins d'un traitement de haute précision.

VeTek Semiconductor s'engage à fournir à ses clients des produits de haute qualité et un support technique fiable. Qu'il s'agisse de la croissance de tranches, de la diffusion, du dépôt de couches minces ou d'autres processus critiques, le support de tranche en carbure de silicium de haute pureté de VeTek Semiconductor peut jouer un rôle important en garantissant la stabilité et la cohérence du processus de fabrication. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.


Paramètre de produit du support de plaquette en carbure de silicium hautement pur

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé
Propriété Valeur typique
Température de travail (°C) 1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur)
Contenu SiC > 99,96%
Contenu Si gratuit < 0,1%
Densité apparente 2,60-2,70 g/cm3
Porosité apparente < 16%
Force de compression > 600 MPa
Résistance à la flexion à froid 80-90 MPa (20°C)
Résistance à la flexion à chaud 90-100 MPa (1 400 °C)
Dilatation thermique à 1 500 °C 4,70 10-6/°C
Conductivité thermique à 1200°C 23 W/m•K
Module d'élasticité 240 GPa
Résistance aux chocs thermiques Extrêmement bon


Atelier de production de semi-conducteurs VeTek


Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :


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