Tube de traitement SiC
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Tube de traitement SiC

VeTek Semiconductor fournit des tubes de traitement SiC hautes performances pour la fabrication de semi-conducteurs. Nos tubes de procédé SiC excellent dans les processus d'oxydation et de diffusion. D'une qualité et d'un savoir-faire supérieurs, ces tubes offrent une stabilité à haute température et une conductivité thermique pour un traitement efficace des semi-conducteurs. Nous proposons des prix compétitifs et cherchons à être votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

VeTek Semiconductor est l’un des principaux fabricants, fournisseurs et exportateurs chinois de CVD SiC et TaC. Adhérant à la recherche d'une qualité parfaite des produits, de sorte que nos tubes de traitement SiC aient été satisfaits par de nombreux clients. Un design extrême, des matières premières de qualité, des performances élevées et des prix compétitifs sont ce que veut chaque client, et c'est aussi ce que nous pouvons vous offrir. Bien entendu, notre service après-vente parfait est également essentiel. Si vous êtes intéressé par nos pièces détachées pour services semi-conducteurs, vous pouvez nous consulter dès maintenant, nous vous répondrons à temps !

Le tube de traitement SiC VeTek Semiconductor est un composant polyvalent largement utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, photovoltaïques et microélectroniques pour ses attributs exceptionnels tels que la stabilité à haute température, la résistance chimique et la conductivité thermique supérieure. Ces qualités en font un choix privilégié pour les processus rigoureux à haute température, garantissant une distribution constante de la chaleur et un environnement chimique stable qui améliore considérablement l'efficacité de la fabrication et la qualité des produits.

Le tube de traitement SiC de VeTek Semiconductor est reconnu pour ses performances exceptionnelles, couramment utilisé dans les processus d'oxydation, de diffusion, de recuit et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) dans la fabrication de semi-conducteurs. En mettant l'accent sur l'excellent savoir-faire et la qualité des produits, notre tube de traitement SiC garantit un traitement efficace et fiable des semi-conducteurs, en tirant parti de la stabilité à haute température et de la conductivité thermique du matériau SiC. Engagés à fournir des produits de premier ordre à des prix compétitifs, nous aspirons à être votre partenaire de confiance à long terme en Chine.

Nous sommes la seule usine de SiC en Chine avec une pureté de 99,96 %, qui peut être utilisée directement pour le contact des plaquettes et fournir un revêtement en carbure de silicium CVD pour réduire la teneur en impuretés à moins de 5 ppm.


Paramètre de produit du tube de traitement SiC :

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé
Propriété Valeur typique
Température de travail (°C) 1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur)
Contenu SiC > 99,96%
Contenu Si gratuit < 0,1%
Densité apparente 2,60-2,70 g/cm3
Porosité apparente < 16%
Force de compression > 600 MPa
Résistance à la flexion à froid 80-90 MPa (20°C)
Résistance à la flexion à chaud 90-100MPa (1400°C)
Dilatation thermique à 1 500 °C 4,70 10-6/°C
Conductivité thermique à 1200°C 23 W/m•K
Module d'élasticité 240 GPa
Résistance aux chocs thermiques Extrêmement bon


Ateliers de production :


Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :


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