Segments de couverture de revêtement SiC intérieurs

Chez VeTek Semiconductor, nous sommes spécialisés dans la recherche, le développement et l'industrialisation des revêtements CVD SiC et CVD TaC. Un exemple de produit est le SiC Coating Cover Segments Inner, qui subit un traitement approfondi pour obtenir une surface CVD SiC très précise et à revêtement dense. Ce revêtement démontre une résistance exceptionnelle aux températures élevées et offre une protection robuste contre la corrosion. N'hésitez pas à nous contacter pour toute demande de renseignements.

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Description du produit

Les segments intérieurs de couverture de revêtement SiC de haute qualité sont proposés par le fabricant chinois VeTek Semicondutor. Achetez des segments de revêtement de revêtement SiC (intérieurs) de haute qualité directement à bas prix.

Les produits VeTek Semiconductor SiC Coating Cover Segments (intérieurs) sont des composants essentiels utilisés dans les processus avancés de fabrication de semi-conducteurs pour le système Aixtron MOCVD.

Voici une description intégrée mettant en évidence l'application et les avantages du produit :

Nos segments de couverture complets de revêtement SiC de 14 x 4 pouces (intérieurs) offrent les avantages et les scénarios d'application suivants lorsqu'ils sont utilisés dans les équipements Aixtron :

Ajustement parfait : ces segments de couverture sont conçus et fabriqués avec précision pour s'adapter parfaitement aux équipements Aixtron, garantissant des performances stables et fiables.

Matériau de haute pureté : les segments de couverture sont fabriqués à partir de matériaux de haute pureté pour répondre aux exigences strictes de pureté des processus de fabrication de semi-conducteurs.

Résistance aux hautes températures : les segments de couvercle présentent une excellente résistance aux températures élevées, maintenant leur stabilité sans déformation ni dommage dans des conditions de processus à haute température.

Inertie chimique exceptionnelle : Avec une inertie chimique exceptionnelle, ces segments de couverture résistent à la corrosion chimique et à l'oxydation, fournissant une couche protectrice fiable et prolongeant leurs performances et leur durée de vie.

Surface plane et usinage précis : les segments de couvercle présentent une surface lisse et uniforme, obtenue grâce à un usinage précis. Cela garantit une excellente compatibilité avec les autres composants des équipements Aixtron et offre des performances de processus optimales.

En incorporant nos segments de couverture intérieure complets de 14 x 4 pouces dans les équipements Aixtron, des processus de croissance de couches minces de semi-conducteurs de haute qualité peuvent être obtenus. Ces segments de couverture jouent un rôle crucial en fournissant une base stable et fiable pour la croissance de couches minces.

Nous nous engageons à fournir des produits de haute qualité qui s'intègrent parfaitement aux équipements Aixtron. Qu'il s'agisse d'optimisation de processus ou de développement de nouveaux produits, nous sommes là pour vous fournir une assistance technique et répondre à toutes vos questions.

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC :

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC
Propriété	Valeur typique
Structure en cristal	Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Densité	3,21 g/cm³
Dureté	Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille d'un grain	2~10μm
Pureté chimique	99,99995%
Capacité thermique	640 J·kg-1·K-1
Température de sublimation	2700 ℃
Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
Module d'Young	Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique	300W·m-1·K-1
Expansion thermique (CTE)	4,5×10-6K-1

Chaîne industrielle :

Atelier de production

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