Récepteur Epi à revêtement SiC

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants, innovateurs et leaders de produits Epi Susceptor à revêtement SiC en Chine. Depuis de nombreuses années, nous nous concentrons sur divers produits de revêtement SiC tels que le suscepteur Epi de revêtement SiC, le support de plaquette de revêtement SiC, le suscepteur de revêtement SiC, le suscepteur ALD de revêtement SiC, etc. VeTek Semiconductor s'engage à fournir une technologie et des solutions de produits avancées pour le semi-conducteur. industrie. Bienvenue à votre consultation ultérieure.

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Description du produit

Vetek Semiconductor est un fabricant professionnel en Chine de suscepteurs épi à revêtement SiC.

Le suscepteur épi à revêtement SiC de VeTek Semiconductor est composé de graphite et de carbure de silicium. Ce produit de revêtement SiC utilise du graphite importé, qui offre des performances plus stables et une longue durée de vie, et est très apprécié par nos clients européens et américains. Dans le même temps, la concentration de suscepteur SiC Coating Epi est inférieure à 5 ppm et l'uniformité est très bonne. Après des mises à niveau technologiques continues, VeTek Semiconductor utilise un nouveau processus pour obtenir une bonne adéquation entre le coefficient de dilatation thermique du revêtement SiC et des matériaux en graphite.

SiC Coating Epi Susceptor est spécialement utilisé dans les environnements à haute température et corrosifs dans les équipements semi-conducteurs. Le suscepteur SiC Coating Epi est couramment utilisé dans des équipements tels que AIXTRON, en particulier dans le processus d'épitaxie ultraviolette profonde (DUV Epitaxy), jouant un rôle clé.

Dans le processus d'épitaxie ultraviolette profonde (DUV Epitaxy), combiné à l'excellente résistance à haute température et à la corrosion du SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Epi Susceptor est généralement installé autour de la chambre de réaction dans l'équipement AIXTRON en tant que support pendant le processus d'épitaxie de endommager ou contaminer l’équipement.

Ce suscepteur Epi à revêtement SiC est conçu pour l'épitaxie ultraviolette profonde. Nous contrôlons strictement le revêtement en carbure de silicium et intégrons la technologie de couche tampon pour réduire les problèmes causés par les différences de coefficients de dilatation thermique entre les revêtements en graphite et en carbure de silicium, prolongeant ainsi la durée de vie du produit. Actuellement, notre produit a reçu de nombreuses distinctions et est reconnu comme l'un des meilleurs sur le marché intérieur.

En tant que leader de l'industrie des produits de revêtement SiC, VeTek Semiconductor prend en charge des services de personnalisation de produits et des prix de produits satisfaisants, et attend avec impatience votre consultation ultérieure.