Revêtement SiC Plateau épitaxial en silicium monocristallin

Le plateau épitaxial de silicium monocristallin à revêtement SiC de VeTek semiconductor est spécialement conçu pour la croissance épitaxiale de silicium monocristallin et joue un rôle important dans l'application industrielle de l'épitaxie de silicium monocristallin et des dispositifs semi-conducteurs associés.Revêtement SiCaméliore non seulement considérablement la résistance à la température et à la corrosion du plateau, mais garantit également une stabilité à long terme et d'excellentes performances dans des environnements extrêmes.

Avantages du revêtement SiC

●  Conductivité thermique élevée: Le revêtement SiC améliore considérablement la capacité de gestion thermique du plateau et peut disperser efficacement la chaleur générée par les appareils haute puissance.

●  Résistance à la corrosion: Le revêtement SiC fonctionne bien dans les environnements à haute température et corrosifs, garantissant une durée de vie et une fiabilité à long terme.

●  Uniformité de la surface: Fournit une surface plane et lisse, évitant efficacement les erreurs de fabrication causées par les irrégularités de la surface et assurant la stabilité de la croissance épitaxiale.

Selon les recherches, lorsque la taille des pores du substrat en graphite est comprise entre 100 et 500 nm, un revêtement à gradient de SiC peut être préparé sur le substrat en graphite, et le revêtement en SiC a une capacité anti-oxydation plus forte. la résistance à l'oxydation du revêtement SiC sur ce graphite (courbe triangulaire) est beaucoup plus forte que celle des autres spécifications de graphite, adaptée à la croissance de l'épitaxie de silicium monocristallin. Le plateau épitaxial en silicium monocristallin à revêtement SiC de VeTek Semiconductor utilise du graphite SGL commesubstrat en graphite, qui est capable d’atteindre de telles performances.

Le plateau épitaxial en silicium monocristallin à revêtement SiC de VeTek Semiconductor utilise les meilleurs matériaux et la technologie de traitement la plus avancée. Plus important encore, quels que soient les besoins des clients en matière de personnalisation des produits, nous pouvons faire de notre mieux pour y répondre.

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC

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