Disque de jeu de revêtement SiC
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Disque de jeu de revêtement SiC

VeTek Semiconductor, l'un des principaux fabricants de revêtements CVD SiC, propose des disques de revêtement SiC dans les réacteurs Aixtron MOCVD. Ces disques de revêtement SiC sont fabriqués à partir de graphite de haute pureté et comportent un revêtement CVD SiC avec une impureté inférieure à 5 ppm. Nous apprécions les demandes de renseignements sur ce produit.

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Description du produit

VeTek Semiconductor est un fabricant et fournisseur chinois de revêtement SiC qui produit principalement des disques, des collecteurs et des suscepteurs de revêtement SiC avec de nombreuses années d'expérience. J'espère établir des relations commerciales avec vous.

Le disque de revêtement Aixtron SiC est un produit haute performance conçu pour une large gamme d'applications. Le kit est fabriqué en graphite de haute qualité avec un revêtement protecteur en carbure de silicium (SiC).

Le revêtement en carbure de silicium (SiC) sur la surface du disque présente plusieurs avantages importants. Tout d’abord, il améliore considérablement la conductivité thermique du matériau graphite, permettant ainsi une conduction thermique efficace et un contrôle précis de la température. Cela garantit un chauffage ou un refroidissement uniforme de l'ensemble du jeu de disques pendant l'utilisation, ce qui entraîne des performances constantes.

Deuxièmement, le revêtement en carbure de silicium (SiC) présente une excellente inertie chimique, ce qui rend le jeu de disques très résistant à la corrosion. Cette résistance à la corrosion garantit la longévité et la fiabilité du disque, même dans des environnements difficiles et corrosifs, ce qui le rend adapté à une variété de scénarios d'application.

De plus, le revêtement en carbure de silicium (SiC) améliore la durabilité globale et la résistance à l'usure du jeu de disques. Cette couche protectrice aide le disque à résister à une utilisation répétée, réduisant ainsi le risque de dommage ou de dégradation pouvant survenir au fil du temps. La durabilité améliorée garantit les performances et la fiabilité à long terme du jeu de disques.

Les disques de revêtement Aixtron SiC sont largement utilisés dans les laboratoires de fabrication de semi-conducteurs, de traitement chimique et de recherche. Son excellente conductivité thermique, sa résistance chimique et sa durabilité le rendent idéal pour les applications critiques nécessitant un contrôle précis de la température et des environnements résistants à la corrosion.


Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC :

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC
Propriété Valeur typique
Structure en cristal Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Densité 3,21 g/cm³
Dureté Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille d'un grain 2~10μm
Pureté chimique 99,99995%
Capacité thermique 640 J·kg-1·K-1
Température de sublimation 2700 ℃
Résistance à la flexion 415 MPa RT 4 points
Module d'Young Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique 300W·m-1·K-1
Expansion thermique (CTE) 4,5×10-6K-1


Chaîne industrielle :


Atelier de production


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