Bateau à plaquettes SiC

Le SiC Wafer Boat de VeTek Semiconductor est un produit de très hautes performances. Notre SiC Wafer Boat est généralement utilisé dans les fours à diffusion d'oxydation de semi-conducteurs pour garantir que la température est uniformément répartie sur la plaquette et améliorer la qualité de traitement de la plaquette de silicium. La stabilité à haute température et la conductivité thermique élevée des matériaux SiC garantissent un traitement efficace et fiable des semi-conducteurs. Nous nous engageons à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs et sommes impatients d'être votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Ce qui suit est l'introduction du SiC Wafer Boat de haute qualité de VeTek Semiconductor, dans l'espoir de vous aider à mieux comprendre SiC Wafer Boat. Bienvenue aux nouveaux et anciens clients pour continuer à coopérer avec nous pour créer un avenir meilleur !

Présentation de l'application SiC Wafer Boat :

Les bateaux à plaquettes carrées horizontales SiC servent de composants essentiels dans les processus de diffusion à haute température, fonctionnant comme des supports de plaquettes. Ces bateaux jouent un rôle essentiel dans la manipulation sûre et efficace des tranches délicates pendant le traitement.

Exigences des fonctionnalités du bateau à plaquettes SiC :

Résistance à haute température : Le bateau doit démontrer une résistance exceptionnelle à des températures élevées pour supporter les environnements difficiles du traitement à haute température.

Stabilité chimique à haute température : Le maintien de l’intégrité structurelle et de la composition chimique dans des conditions de températures extrêmement élevées garantit la pureté du processus.

Performance sans particules : le bateau doit être exempt de génération de particules ou de contamination pour préserver la qualité des plaquettes traitées.

Pourquoi choisir le SiC Wafer Boat de Vetek Semiconductor ?

Spécifications polyvalentes : Vetek Semiconductor propose une gamme de spécifications standard et fournit des services personnalisés pour répondre à des exigences spécifiques.

Qualité et rapidité : Vetek Semiconductor garantit des produits de haute qualité et une livraison rapide, répondant ainsi aux exigences des industries en évolution rapide.

Expertise matérielle : L’utilisation d’un matériau dense en carbure de silicium recristallisé garantit des performances et une longévité supérieures des bateaux.

Seuil de température élevée : les bateaux Vetek Semiconductor affichent une température de fonctionnement maximale de 1 600 °C, adaptée aux processus à haute température les plus exigeants.

Rentabilité : les bateaux Vetek Semiconductor offrent un rapport coût-performance très compétitif, offrant un bon rapport qualité-prix.

Durabilité : Avec une longue durée de vie, les bateaux Vetek Semiconductor offrent fiabilité et cohérence dans les processus de manipulation des plaquettes.

Vetek Semiconductor se distingue sur le marché par son engagement en faveur de la qualité, de ses options de personnalisation, de son innovation en matière de matériaux, de ses capacités à haute température, de sa rentabilité et de sa longévité, ce qui en fait le choix préféré des fabricants de semi-conducteurs du monde entier.

Paramètre de produit du SiC Wafer Boat :

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé
Propriété	Valeur typique
Température de travail (°C)	1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur)
Contenu SiC	> 99,96%
Contenu Si gratuit	< 0,1%
Densité apparente	2,60-2,70 g/cm3
Porosité apparente	< 16%
Force de compression	> 600 MPa
Résistance à la flexion à froid	80-90 MPa (20°C)
Résistance à la flexion à chaud	90-100MPa (1400°C)
Dilatation thermique à 1 500 °C	4,70 10-6/°C
Conductivité thermique à 1200°C	23 W/m•K
Module d'élasticité	240 GPa
Résistance aux chocs thermiques	Extrêmement bon