Bateau et piédestal à colonne verticale

Vetek Semi-conducteurest un leader professionnel en ChineBateau à plaquettes SiC, support de plaquette, Revêtement CVD-SiCfabricant de haute qualité et prix raisonnable.Bienvenue à nous contacter.

Le bateau et le socle à colonne verticale de Vetek Semiconductor peuvent fournir un support fiable dans des températures extrêmes et des environnements chimiques difficiles, et sont donc largement utilisés dans les équipements de traitement des semi-conducteurs, garantissant la précision et la stabilité de la technologie de traitement des semi-conducteurs.

Le rôle spécifique du socle de bateau à plaquette à colonne verticale dans le traitement des semi-conducteurs estcomme suit:

Fournit un support et un positionnement des plaquettes de haute précision:

La conception du bateau et du piédestal à colonne verticale garantit que la plaquette est soutenue de manière précise et stable dans la direction verticale. Grâce à un contrôle précis de l'espacement et à une structure stable, ces composants peuvent efficacement empêcher la plaquette de se déplacer, de glisser ou d'être endommagée pendant le traitement ou le transport à haute température, garantissant ainsi un positionnement et un traitement précis de la plaquette dans chaque maillon de traitement.

Optimiser le processus thermique et améliorer la cohérence du processus:

En raison de l'excellente conductivité thermique des matériaux de quartz et de SiC, le bateau et le piédestal de plaquette à colonne verticale peuvent garantir que la chaleur est transférée uniformément à chaque plaquette pendant les processus de traitement thermique tels que la diffusion, l'oxydation et le recuit. Cette répartition uniforme de la chaleur améliore considérablement la cohérence du processus de traitement, garantissant que chaque tranche peut répondre à des normes de fabrication strictes, améliorant ainsi le rendement du produit.

Résistant à la corrosion chimique et prévient la contamination:

Les matériaux en quartz et SiC de haute pureté ont une excellente résistance à la corrosion chimique et peuvent rester stables dans des environnements chimiques à haute température sans libérer d'impuretés nocives. Cette fonctionnalité permet au bateau et au piédestal à colonne verticale d'empêcher efficacement la contamination des plaquettes pendant le traitement, garantissant ainsi la haute pureté et la stabilité des performances du produit fini, et répondant aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs en matière de propreté et de pureté.

En tant que fabricant et fournisseur leader de matériaux de revêtement avancés pour l'industrie chinoise des semi-conducteurs, VeTek Semiconductor s'engage à fournir à ses clientssolutions technologiques et produits avancées personnalisées.Nousj'espère sincèrement devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Propriétés physiques de base du support de plaquette SiC horizontal:

VeTek Semiconductor Colonne verticale Wafer Boat Ateliers de production de socles:

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices: