VeTek Semiconductor est votre partenaire innovant dans le domaine du traitement des semi-conducteurs. Grâce à notre vaste gamme de combinaisons de matériaux céramiques en carbure de silicium de qualité semi-conducteur, nos capacités de fabrication de composants et nos services d'ingénierie d'application, nous pouvons vous aider à surmonter des défis importants. Les céramiques techniques en carbure de silicium sont largement utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs en raison de leurs performances matérielles exceptionnelles. Les céramiques de carbure de silicium ultra-pures de VeTek Semiconductor sont fréquemment utilisées tout au long du cycle de fabrication et de traitement des semi-conducteurs.
VeTek Semiconductor fournit des composants en céramique technique spécialement conçus pour les exigences de diffusion par lots et de LPCVD, notamment :
• Déflecteurs et supports
• Injecteurs
• Revêtements et tubes de traitement
• Palettes en porte-à-faux en carbure de silicium
• Bateaux à plaquettes et socles
Pagaie en porte-à-faux SiC Tubes de traitement SiC Tube de processus en carbure de silicium Bateau à plaquettes vertical SiC Bateau à plaquettes horizontal SiC Bateau à plaquettes carrées horizontales SiC Bateau à plaquettes SiC LPCVD Bateau à plaque horizontale SiC Bateau à plaquettes rondes SiC
Minimisez la contamination et la maintenance imprévue grâce à des composants de haute pureté conçus pour les rigueurs du traitement de gravure au plasma, notamment :
Bagues de mise au point
Buses
Boucliers
Tête de douche
Fenêtres / Couvercles
Autres composants personnalisés
VeTek Semiconductor fournit des composants matériels avancés adaptés aux applications de traitement thermique à haute température dans l'industrie des semi-conducteurs. Ces applications englobent les processus RTP, Epi, la diffusion, l'oxydation et le recuit. Nos céramiques techniques sont conçues pour résister aux chocs thermiques, offrant des performances fiables et constantes. Grâce aux composants de VeTek Semiconductor, les fabricants de semi-conducteurs peuvent réaliser un traitement thermique efficace et de haute qualité, contribuant ainsi au succès global de la production de semi-conducteurs.
• Diffuseurs
• Isolateurs
• Suscepteurs
• Autres composants thermiques personnalisés
Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé | |
Propriété | Valeur typique |
Température de travail (°C) | 1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur) |
Contenu SiC / SiC | > 99,96% |
Si / Contenu Si gratuit | < 0,1% |
Densité apparente | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porosité apparente | < 16% |
Force de compression | > 600 MPa |
Résistance à la flexion à froid | 80-90 MPa (20°C) |
Résistance à la flexion à chaud | 90-100 MPa (1 400 °C) |
Dilatation thermique à 1 500 °C | 4,70 10-6/°C |
Conductivité thermique à 1200°C | 23 W/m•K |
Module d'élasticité | 240 GPa |
Résistance aux chocs thermiques | Extrêmement bon |
VeTek Semiconductor fournit des tubes de traitement SiC hautes performances pour la fabrication de semi-conducteurs. Nos tubes de procédé SiC excellent dans les processus d'oxydation et de diffusion. D'une qualité et d'un savoir-faire supérieurs, ces tubes offrent une stabilité à haute température et une conductivité thermique pour un traitement efficace des semi-conducteurs. Nous proposons des prix compétitifs et cherchons à être votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeLa palette cantilever SiC de VeTek Semiconductor est un produit de très hautes performances. Notre palette en porte-à-faux SiC est généralement utilisée dans les fours de traitement thermique pour la manipulation et le support de tranches de silicium, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et d'autres processus de traitement dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. La stabilité à haute température et la conductivité thermique élevée du matériau SiC garantissent une efficacité et une fiabilité élevées dans le processus de traitement des semi-conducteurs. Nous nous engageons à fournir des produits de haute qualité à des prix compétitifs et sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeVeTek Semiconductor est un fabricant et fournisseur professionnel en Chine de bateaux à plaquettes en carbure de silicium pour four horizontal, avec des années d'expérience en R&D et en production, peut bien contrôler la qualité et offrir un prix compétitif. Vous pouvez être assuré d’acheter chez nous le bateau à plaquettes en carbure de silicium pour four horizontal.
En savoir plusenvoyer une demandeVeTek Semiconductor est un fabricant et fournisseur professionnel en Chine de bateaux à plaquettes en carbure de silicium à revêtement SiC, avec des années d'expérience en R&D et en production, peut bien contrôler la qualité et offrir un prix compétitif. Bienvenue pour visiter notre usine et discuter davantage de la coopération.
En savoir plusenvoyer une demandeLa palette en porte-à-faux en carbure de silicium de VeTek Semiconductor est un composant important dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, particulièrement adaptée aux fours à diffusion ou aux fours LPCVD dans les processus à haute température tels que la diffusion et le RTP. Notre palette en porte-à-faux en carbure de silicium est soigneusement conçue et fabriquée avec une excellente résistance aux températures élevées et une excellente résistance mécanique, et peut transporter de manière sûre et fiable les plaquettes vers le tube de traitement dans des conditions de traitement difficiles pour divers processus à haute température tels que la diffusion et le RTP. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeLes supports de plaquettes en carbure de silicium de haute pureté VeTek Semiconductor sont des composants importants dans le traitement des semi-conducteurs, conçus pour contenir et transporter en toute sécurité des plaquettes de silicium délicates, jouant un rôle clé dans toutes les étapes de fabrication. Les supports de plaquettes en carbure de silicium hautement pur de VeTek Semiconductor sont soigneusement conçus et fabriqués pour garantir d'excellentes performances et fiabilité. VeTek Semiconductor s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs et nous sommes impatients d'être votre partenaire à long terme en Chine.
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