Chine Revêtement en carbure de silicium Fabricant, fournisseur, usine

VeTek Semiconductor se spécialise dans la production de produits de revêtement en carbure de silicium ultra purs, ces revêtements sont conçus pour être appliqués sur des composants en graphite purifié, en céramique et en métal réfractaire.

Nos revêtements de haute pureté sont principalement destinés à être utilisés dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique. Ils servent de couche protectrice pour les supports de tranches, les suscepteurs et les éléments chauffants, les protégeant des environnements corrosifs et réactifs rencontrés dans des processus tels que MOCVD et EPI. Ces processus font partie intégrante du traitement des plaquettes et de la fabrication des dispositifs. De plus, nos revêtements sont bien adaptés aux applications dans les fours à vide et le chauffage d'échantillons, où l'on rencontre des environnements sous vide poussé, réactifs et oxygénés.

Chez VeTek Semiconductor, nous proposons une solution complète grâce à nos capacités avancées d'atelier d'usinage. Cela nous permet de fabriquer les composants de base en graphite, en céramique ou en métaux réfractaires et d'appliquer les revêtements céramiques SiC ou TaC en interne. Nous fournissons également des services de revêtement pour les pièces fournies par le client, garantissant ainsi la flexibilité nécessaire pour répondre à divers besoins.

Nos produits de revêtement en carbure de silicium sont largement utilisés dans l'épitaxie Si, l'épitaxie SiC, le système MOCVD, le processus RTP/RTA, le processus de gravure, le processus de gravure ICP/PSS, le processus de divers types de LED, y compris les LED bleues et vertes, les LED UV et les UV profonds. LED etc., adaptée aux équipements de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Pièces de réacteur que nous pouvons réaliser :

Revêtement en carbure de silicium plusieurs avantages uniques :

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Paramètre de revêtement en carbure de silicium semi-conducteur VeTek :

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC
Propriété	Valeur typique
Structure cristalline	Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Densité	3,21 g/cm³
Dureté	Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille des grains	2~10μm
Pureté chimique	99,99995%
Capacité thermique	640 J·kg-1·K-1
Température de sublimation	2700 ℃
Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
Module de Young	Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique	300W·m-1·K-1
Expansion thermique (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Support avec revêtement SiC pour LPE PE2061S

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de supports revêtus de SiC pour LPE PE2061S en Chine. Nous sommes spécialisés dans les matériaux de revêtement SiC depuis de nombreuses années. Nous proposons un support revêtu de SiC pour LPE PE2061S conçu spécifiquement pour le réacteur d'épitaxie de silicium LPE. Ce support revêtu de SiC pour LPE PE2061S est le bas du suscepteur du baril. Il peut résister à une température élevée de 1600 degrés Celsius, prolonger la durée de vie du produit de la pièce de rechange en graphite. Bienvenue pour nous envoyer une demande.

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Plaque supérieure avec revêtement SiC pour LPE PE2061S

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de plaques supérieures à revêtement SiC pour LPE PE2061S en Chine. Nous sommes spécialisés dans les matériaux de revêtement SiC depuis de nombreuses années. Nous proposons une plaque supérieure à revêtement SiC pour LPE PE2061S conçue spécifiquement pour le réacteur d'épitaxie de silicium LPE. Cette plaque supérieure à revêtement SiC pour LPE PE2061S est le dessus avec le suscepteur de baril. Cette plaque à revêtement CVD SiC présente une grande pureté, une excellente stabilité thermique et une uniformité, ce qui la rend adaptée à la culture de couches épitaxiales de haute qualité. Nous vous invitons à visiter notre usine. en Chine.

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Suscepteur de baril revêtu de SiC pour LPE PE2061S

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de suscepteurs cylindriques à revêtement SiC pour LPE PE2061S en Chine. Nous sommes spécialisés dans les matériaux de revêtement SiC depuis de nombreuses années. Nous proposons un suscepteur cylindrique à revêtement SiC conçu spécifiquement pour les tranches LPE PE2061S 4''. Ce suscepteur est doté d'un revêtement durable en carbure de silicium qui améliore les performances et la durabilité pendant le processus LPE (épitaxie en phase liquide). Nous vous invitons à visiter notre usine en Chine.

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Pommeau de douche à gaz SiC solide

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de pommes de douche à gaz en SiC solide en Chine. Nous sommes spécialisés dans les matériaux semi-conducteurs depuis de nombreuses années. La conception multi-porosité de la pomme de douche à gaz en SiC solide VeTek Semiconductor garantit que la chaleur générée lors du processus CVD peut être dispersée. , en veillant à ce que le substrat soit chauffé uniformément. Nous sommes impatients de nous installer à long terme avec vous en Chine.

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Anneau de bord en SiC solide pour processus de dépôt chimique en phase vapeur

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs d'anneaux de bord en SiC solide dans le cadre du processus de dépôt chimique en phase vapeur en Chine. Nous sommes spécialisés dans les matériaux semi-conducteurs depuis de nombreuses années. L'anneau de bord en SiC solide VeTek Semiconductor offre une uniformité de gravure améliorée et un positionnement précis des plaquettes lorsqu'il est utilisé avec un mandrin électrostatique. , garantissant des résultats de gravure cohérents et fiables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Bague de mise au point de gravure en SiC solide

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants et innovateurs de bagues de focalisation de gravure en SiC solide en Chine. Nous sommes spécialisés dans les matériaux SiC depuis de nombreuses années. Le SiC solide est choisi comme matériau de bague de focalisation en raison de son excellente stabilité thermochimique, de sa résistance mécanique élevée et de sa résistance au plasma. érosion. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de silicium en Chine, nous disposons de notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter du Revêtement en carbure de silicium avancé et durable fabriqué en Chine, vous pouvez nous laisser un message.