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Chine Revêtement en carbure de silicium Fabricant, fournisseur, usine
VeTek Semiconductor se spécialise dans la production de produits de revêtement en carbure de silicium ultra purs, ces revêtements sont conçus pour être appliqués sur des composants en graphite purifié, en céramique et en métal réfractaire.
Nos revêtements de haute pureté sont principalement destinés à être utilisés dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique. Ils servent de couche protectrice pour les supports de tranches, les suscepteurs et les éléments chauffants, les protégeant des environnements corrosifs et réactifs rencontrés dans des processus tels que MOCVD et EPI. Ces processus font partie intégrante du traitement des plaquettes et de la fabrication des dispositifs. De plus, nos revêtements sont bien adaptés aux applications dans les fours à vide et le chauffage d'échantillons, où l'on rencontre des environnements sous vide poussé, réactifs et oxygénés.
Chez VeTek Semiconductor, nous proposons une solution complète grâce à nos capacités avancées d'atelier d'usinage. Cela nous permet de fabriquer les composants de base en graphite, en céramique ou en métaux réfractaires et d'appliquer les revêtements céramiques SiC ou TaC en interne. Nous fournissons également des services de revêtement pour les pièces fournies par le client, garantissant ainsi la flexibilité nécessaire pour répondre à divers besoins.
Nos produits de revêtement en carbure de silicium sont largement utilisés dans l'épitaxie Si, l'épitaxie SiC, le système MOCVD, le processus RTP/RTA, le processus de gravure, le processus de gravure ICP/PSS, le processus de divers types de LED, y compris les LED bleues et vertes, les LED UV et les UV profonds. LED etc., adaptée aux équipements de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.
Pièces de réacteur que nous pouvons réaliser :
Revêtement en carbure de silicium plusieurs avantages uniques :
Paramètre de revêtement en carbure de silicium semi-conducteur VeTek :
| Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC | |
| Propriété | Valeur typique |
| Structure cristalline | Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111) |
| Densité | 3,21 g/cm³ |
| Dureté | Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g) |
| Taille des grains | 2~10μm |
| Pureté chimique | 99,99995% |
| Capacité thermique | 640 J·kg-1·K-1 |
| Température de sublimation | 2700 ℃ |
| Résistance à la flexion | 415 MPa RT 4 points |
| Module de Young | Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
| Conductivité thermique | 300W·m-1·K-1 |
| Expansion thermique (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
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Support de plaquette de revêtement SiC
En tant que fabricant et fournisseur professionnel de supports de tranches à revêtement SiC en Chine, les supports de tranches à revêtement SiC de Vetek Semiconductor sont principalement utilisés pour améliorer l'uniformité de croissance de la couche épitaxiale, garantissant leur stabilité et leur intégrité dans des environnements corrosifs et à haute température. Dans l'attente de votre demande.
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Récepteur ALD
VeTek Semiconductor est un fabricant professionnel de suscepteur ALD, de revêtement CVD SiC et de base de graphite CVD TAC COATING en Chine. Vetek Semiconductor a développé et produit conjointement des bases planétaires ALD à revêtement SiC avec les fabricants de systèmes ALD pour répondre aux exigences élevées du processus ALD et répartir uniformément le flux d'air sur le substrat. Nous sommes impatients de poursuivre notre coopération avec vous.
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Plafond enduit CVD SiC
En tant que fabricant et fournisseur professionnel de plafonds à revêtement CVD SiC en Chine, le plafond à revêtement CVD SiC de VeTek Semiconductor possède d'excellentes propriétés telles qu'une résistance aux températures élevées, une résistance à la corrosion, une dureté élevée et un faible coefficient de dilatation thermique, ce qui en fait un choix de matériau idéal dans la fabrication de semi-conducteurs. Nous sommes impatients de poursuivre notre coopération avec vous.
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Suscepteur épi LED MOCVD
VeTek Semiconductor est un fabricant professionnel de suscepteurs épi LED MOCVD, de suscepteurs planétaires ALD et de suscepteurs en graphite revêtus de TaC en Chine. Le suscepteur épi LED MOCVD de VeTek Semiconductor est conçu pour les applications exigeantes d'équipement épitaxial. Sa conductivité thermique élevée, sa stabilité chimique et sa durabilité sont des facteurs clés pour garantir un processus de croissance épitaxiale stable et une production de films semi-conducteurs de haute qualité. Nous sommes impatients de poursuivre notre coopération avec vous.
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Suscepteur ALD à revêtement SiC
En tant que fabricant et fournisseur professionnel de suscepteur ALD à revêtement SiC en Chine, le suscepteur ALD à revêtement SiC de VeTek Semiconductor est un composant de support spécifiquement utilisé dans le processus de dépôt de couche atomique (ALD). Il joue un rôle clé dans l'équipement ALD, garantissant l'uniformité et la précision du processus de dépôt. Nous pensons que nos produits ALD Planetary Susceptor peuvent vous apporter des solutions de produits de haute qualité.
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Récepteur Epi à revêtement SiC
VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants, innovateurs et leaders de produits Epi Susceptor à revêtement SiC en Chine. Depuis de nombreuses années, nous nous concentrons sur divers produits de revêtement SiC tels que le suscepteur Epi de revêtement SiC, le support de plaquette de revêtement SiC, le suscepteur de revêtement SiC, le suscepteur ALD de revêtement SiC, etc. VeTek Semiconductor s'engage à fournir une technologie et des solutions de produits avancées pour le semi-conducteur. industrie. Bienvenue à votre consultation ultérieure.
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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de silicium en Chine, nous disposons de notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter du Revêtement en carbure de silicium avancé et durable fabriqué en Chine, vous pouvez nous laisser un message.
