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Chine Revêtement en carbure de silicium Fabricant, fournisseur, usine
VeTek Semiconductor se spécialise dans la production de produits de revêtement en carbure de silicium ultra purs, ces revêtements sont conçus pour être appliqués sur des composants en graphite purifié, en céramique et en métal réfractaire.
Nos revêtements de haute pureté sont principalement destinés à être utilisés dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique. Ils servent de couche protectrice pour les supports de tranches, les suscepteurs et les éléments chauffants, les protégeant des environnements corrosifs et réactifs rencontrés dans des processus tels que MOCVD et EPI. Ces processus font partie intégrante du traitement des plaquettes et de la fabrication des dispositifs. De plus, nos revêtements sont bien adaptés aux applications dans les fours à vide et le chauffage d'échantillons, où l'on rencontre des environnements sous vide poussé, réactifs et oxygénés.
Chez VeTek Semiconductor, nous proposons une solution complète grâce à nos capacités avancées d'atelier d'usinage. Cela nous permet de fabriquer les composants de base en graphite, en céramique ou en métaux réfractaires et d'appliquer les revêtements céramiques SiC ou TaC en interne. Nous fournissons également des services de revêtement pour les pièces fournies par le client, garantissant ainsi la flexibilité nécessaire pour répondre à divers besoins.
Nos produits de revêtement en carbure de silicium sont largement utilisés dans l'épitaxie Si, l'épitaxie SiC, le système MOCVD, le processus RTP/RTA, le processus de gravure, le processus de gravure ICP/PSS, le processus de divers types de LED, y compris les LED bleues et vertes, les LED UV et les UV profonds. LED etc., adaptée aux équipements de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.
Pièces de réacteur que nous pouvons réaliser :
Revêtement en carbure de silicium plusieurs avantages uniques :
Paramètre de revêtement en carbure de silicium semi-conducteur VeTek :
| Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC | |
| Propriété | Valeur typique |
| Structure cristalline | Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111) |
| Densité | 3,21 g/cm³ |
| Dureté | Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g) |
| Taille des grains | 2~10μm |
| Pureté chimique | 99,99995% |
| Capacité thermique | 640 J·kg-1·K-1 |
| Température de sublimation | 2700 ℃ |
| Résistance à la flexion | 415 MPa RT 4 points |
| Module de Young | Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
| Conductivité thermique | 300W·m-1·K-1 |
| Expansion thermique (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
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Jupe enduite CVD SiC
VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants, innovateurs et leaders des revêtements CVD SiC et TAC en Chine. Depuis de nombreuses années, nous nous concentrons sur divers produits de revêtement CVD SiC tels que la jupe à revêtement CVD SiC, l'anneau de revêtement CVD SiC, le support de revêtement CVD SiC, etc. VeTek Semiconductor prend en charge des services de produits personnalisés et des prix de produits satisfaisants, et attend avec impatience votre suite. consultation.
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Suscepteur épi LED UV
En tant que fabricant et leader chinois de premier plan de produits semi-conducteurs, VeTek Semiconductor se concentre depuis de nombreuses années sur divers types de produits sucepteurs tels que le suscepteur épitaxial LED UV, le suscepteur épitaxial LED UV profond, le suscepteur de revêtement SiC, le suscepteur MOCVD, etc. VeTek Semiconductor s'engage à fournir des technologies et des solutions de produits avancées pour l'industrie des semi-conducteurs, et nous sommes sincèrement impatients de devenir votre partenaire en Chine.
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Déflecteur de revêtement CVD SiC
Le déflecteur de revêtement CVD SiC de Vetek Semiconductor est principalement utilisé dans l'épitaxie Si. Il est généralement utilisé avec des barillets d'extension en silicone. Il combine la haute température unique et la stabilité du déflecteur de revêtement CVD SiC, ce qui améliore considérablement la répartition uniforme du flux d'air dans la fabrication de semi-conducteurs. Nous pensons que nos produits peuvent vous apporter une technologie avancée et des solutions de produits de haute qualité.
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Cylindre en graphite CVD SiC
Le cylindre en graphite CVD SiC de Vetek Semiconductor joue un rôle essentiel dans les équipements semi-conducteurs, servant de bouclier de protection dans les réacteurs pour protéger les composants internes dans des températures et pressions élevées. Il protège efficacement contre les produits chimiques et la chaleur extrême, préservant ainsi l’intégrité de l’équipement. Avec une résistance exceptionnelle à l’usure et à la corrosion, il assure longévité et stabilité dans des environnements difficiles. L'utilisation de ces couvertures améliore les performances des dispositifs semi-conducteurs, prolonge la durée de vie et atténue les exigences de maintenance et les risques de dommages. Bienvenue à nous consulter.
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Buse de revêtement CVD SiC
Les buses de revêtement CVD SiC de Vetek Semiconductor sont des composants essentiels utilisés dans le processus d'épitaxie LPE SiC pour le dépôt de matériaux en carbure de silicium lors de la fabrication de semi-conducteurs. Ces buses sont généralement constituées d'un matériau en carbure de silicium à haute température et chimiquement stable pour garantir la stabilité dans les environnements de traitement difficiles. Conçus pour un dépôt uniforme, ils jouent un rôle clé dans le contrôle de la qualité et de l'uniformité des couches épitaxiales cultivées dans les applications de semi-conducteurs. Dans l'attente d'établir une coopération à long terme avec vous.
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Protecteur de revêtement CVD SiC
Vetek Semiconductor fournit un revêtement protecteur CVD SiC utilisé pour l'épitaxie LPE SiC. Le terme « LPE » fait généralement référence à l'épitaxie basse pression (LPE) dans le dépôt chimique en phase vapeur basse pression (LPCVD). Dans la fabrication de semi-conducteurs, le LPE est une technologie de processus importante pour la croissance de films minces monocristallins, souvent utilisés pour faire croître des couches épitaxiales de silicium ou d'autres couches épitaxiales de semi-conducteurs. N'hésitez pas à nous contacter pour plus de questions.
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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de silicium en Chine, nous disposons de notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter du Revêtement en carbure de silicium avancé et durable fabriqué en Chine, vous pouvez nous laisser un message.
